国家标准《集成电路制造设备术语》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位中国电子技术标准化研究院、浙江晶盛机电股份有限公司、中电科电子装备集团有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、中微半导体设备（上海）股份有限公司、上海微电子装备（集团）股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、江苏卓远半导体有限公司。
主要起草人张军华 、冯亚彬 、曹可慰 、曹建伟 、裴会川 、朱亮 、周哲 、武小娟 、杜若昕 、唐彩红 、丁晓民 、傅林坚 、魏唯 、田涛 、刘英斌 、李国平 、王宏智 。
标准号： GB/T 40577-2021
发布日期： 2021-10-11
实施日期： 2022-05-01
标准类别： 基础
中国标准分类号： L95
国际标准分类号： 31.220
| 31 电子学 |
| 31.220 电子电信设备用机电元件 |
归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门： 国家标准化管理委员会
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