国家标准《刻蚀机用硅电极及硅环》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位有研半导体硅材料股份公司、山东有研半导体材料有限公司、新美光（苏州）半导体科技有限公司、浙江海纳半导体有限公司。
主要起草人库黎明 、孙燕 、闫志瑞 、张果虎 、夏秋良 、潘金平 。
标准号： GB/T 41652-2022
发布日期： 2022-07-11
实施日期： 2023-02-01
标准类别： 产品
中国标准分类号： H 82
国际标准分类号： 29.045
| 29 电气工程 |
| 29.045 半导体材料 |
归口单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门： 国家标准化管理委员会
20194172-T-469 刻蚀机用硅电极及硅环
刻蚀机用硅电极及硅环
DB34/T 3438-2019 清洗刻蚀含酸废液的循环再生利用技术要求
YB/T 5215-1996 电极糊
YB/T 4226-2010 炭电极
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YB/T 5215-2015 电极糊
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20077649-T-604 离子选择电极
GB/T 26811-2011 离子选择电极
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