本专题涉及硅 元素分析的标准有3条。
国际标准分类中，硅 元素分析涉及到绝缘流体、集成电路、微电子学。
在中国标准分类中，硅 元素分析涉及到半金属及半导体材料分析方法、半导体分立器件综合。
GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法
DIN 51456-2013 半导体技术用材料的试验. 使用电感耦合等离子体质谱法 (ICP-MS) 通过水分析解决方案的多元素测定进行硅晶片的表面分析
STAS 9163/16-1973 硅铝矿产品铁、钛、铜、镁、锰、铜元素的谱分析
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