离子对参数检测

本专题涉及离子对参数的标准有13条。

国际标准分类中，离子对参数涉及到计量学和测量综合、分析化学、光电子学、激光设备、流体系统和通用件。

在中国标准分类中，离子对参数涉及到电子光学与其他物理光学仪器、基础标准与通用方法、激光器件、真空技术与设备、其他生产设备。

国家质检总局，关于离子对参数的标准

GB/T 22572-2008 表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法

，关于离子对参数的标准

KS D ISO 20341-2005(2020) 表面化学分析二次离子质谱法用多δ层标准物质估算深度分辨参数的方法

日本工业标准调查会，关于离子对参数的标准

JIS K0169-2012 表面化学分析.二次离子质谱(SIMS).带多重亚铅层对照物的深度分辨率参数估算方法

JIS K0169-2012 表面化学分析.二次离子质谱(SIMS).带多重亚铅层对照物的深度分辨率参数估算方法

韩国标准，关于离子对参数的标准

KS D ISO 20341-2005 表面化学分析.次级离子质谱法.多δ层标准材料深度溶解参数的估算方法

KS D ISO 20341-2005 表面化学分析.次级离子质谱法.多δ层标准材料深度溶解参数的估算方法

英国标准学会，关于离子对参数的标准

BS ISO 20341-2003 表面化学分析.次级离子质谱法.多δ层标准材料深度溶解参数的估算方法

国际标准化组织，关于离子对参数的标准

ISO 20341:2003 表面化学分析——二次离子质谱法——利用多delta层标准物质估算深度分辨率参数的方法

ISO 20341-2003 表面化学分析.次级离子质谱法.多δ层标准材料深度溶解参数的估算方法

行业标准-机械，关于离子对参数的标准

JB/T 9489-1999 氩离子激光器主要参数测试方法

JB/T 4081-1991 溅射离子泵.型式与基本参数

行业标准-电子，关于离子对参数的标准

SJ 1779-1981 普通二极型溅射离子泵.参数系列