本专题涉及敞开式质谱分析技术的标准有1条。
国际标准分类中,敞开式质谱分析技术涉及到集成电路、微电子学。
在中国标准分类中,敞开式质谱分析技术涉及到半导体分立器件综合。
DIN 51456-2013 半导体技术用材料的试验. 使用电感耦合等离子体质谱法 (ICP-MS) 通过水分析解决方案的多元素测定进行硅晶片的表面分析
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