半导体质谱检测

本专题涉及半导体 质谱的标准有4条。

国际标准分类中，半导体 质谱涉及到半导体材料、集成电路、微电子学。

在中国标准分类中，半导体 质谱涉及到元素半导体材料、半导体分立器件综合、半金属与半导体材料综合。

德国标准化学会，关于半导体 质谱的标准

DIN 50451-3-2014 半导体工艺用材料测试. 液体中痕量元素测定. 第3部分: 使用电感耦合等离子体质谱法 (ICP-MS) 测定高纯度硝酸中的31种元素

DIN 51456-2013 半导体技术用材料的试验. 使用电感耦合等离子体质谱法 (ICP-MS) 通过水分析解决方案的多元素测定进行硅晶片的表面分析

DIN 50451-4-2007 半导体工艺用材料测试.液体中痕量元素测定.用电感耦合等离子体质谱测定法测定纯净水中34中微量元素

DIN 50451-3-2003 半导体工艺用材料测试.液体中痕量元素测定.第3部分:用电感耦合等离子体质谱法测定硝酸中铝(AL)、钴(Co)、铜(Cu)、钠(Na)、镍(Ni)和锌(Zn)的含量