碳化硅单晶检测

本专题涉及碳化硅单晶的标准有19条。

国际标准分类中，碳化硅单晶涉及到金属材料试验、半导体材料、导体材料。

在中国标准分类中，碳化硅单晶涉及到金属物理性能试验方法、半金属及半导体材料分析方法、金属无损检验方法、化合物半导体材料、、。

国家质检总局，关于碳化硅单晶的标准

GB/T 42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法

GB/T 41765-2022 碳化硅单晶位错密度的测试方法

GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

GB/T 30656-2014 碳化硅单晶抛光片

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于碳化硅单晶的标准

GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法

中国团体标准，关于碳化硅单晶的标准

T/IAWBS 001-2021 碳化硅单晶

T/IAWBS 014-2021 碳化硅单晶抛光片位错密度的测试方法

T/ZZB 2283-2021 半导体级碳化硅单晶用超高纯石墨粉

T/ZSA 72-2019 碳化硅单晶

T/IAWBS 010-2019 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度检测方法-激光散射检测法

T/IAWBS 012-2019 碳化硅单晶抛光片表面质量和微管密度测试方法 ——共焦点微分干涉光学法

T/IAWBS 005-2018 6 英寸碳化硅单晶抛光片

行业标准-电子，关于碳化硅单晶的标准

SJ/T 11504-2015 碳化硅单晶抛光片表面质量的测试方法

SJ/T 11500-2015 碳化硅单晶晶向的测试方法

SJ/T 11499-2015 碳化硅单晶电学性能的测试方法

SJ/T 11501-2015 碳化硅单晶晶型的测试方法

SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范

SJ/T 11503-2015 碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法

SJ 20858-2002 碳化硅单晶材料电学参数测试方法