椭圆仪厚度检测

本专题涉及椭圆仪 厚度的标准有4条。

国际标准分类中，椭圆仪 厚度涉及到长度和角度测量、有色金属、半导体材料。

在中国标准分类中，椭圆仪 厚度涉及到基础标准与通用方法、电工绝缘材料及其制品、贵金属及其合金、半金属与半导体材料综合。

国家质检总局，关于椭圆仪 厚度的标准

GB/T 31225-2014 椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法

行业标准-有色金属，关于椭圆仪 厚度的标准

YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

美国材料与试验协会，关于椭圆仪 厚度的标准

ASTM F576-00 用椭圆偏振法测量硅衬底上绝缘体厚度和折射率的标准试验方法

ASTM F576-2000 用椭圆对称法测量硅衬底上绝缘体厚度及折射指数的标准试验方法