金属和氧化物覆盖层广泛应用于电子、汽车、航空航天等领域，其厚度直接影响材料的耐腐蚀性、导电性、耐磨性及功能性。精确测量覆盖层厚度是确保产品质量和性能的关键环节。显微镜法作为传统且可靠的方法之一，通过光学或电子显微镜直接观察截面形貌，结合图像分析技术实现高精度测量。该方法尤其适用于多层复合涂层、局部区域厚度检测以及复杂基体材料的分析，在科研实验和工业质检中占据重要地位。
显微镜法主要针对以下覆盖层类型进行厚度检测：
1. 金属镀层：如电镀镍、化学镀铜、真空镀铝等；
2. 氧化物涂层：包括阳极氧化铝、热氧化层、化学转化膜等；
3. 复合覆盖层：如镍-金双层镀、锌-铬酸盐复合膜等；
4. 功能性涂层：如热障涂层(TBC)、防腐蚀涂层等。
检测时需明确覆盖层与基体材料的界面位置，并对多层结构进行分层测量。
显微镜法测量厚度的标准操作流程包括以下步骤：
1. 样品制备：采用冷镶嵌或热镶嵌法固定样品，使用精密切割机获取垂直截面试样，经研磨抛光至镜面效果；
2. 显微观察：使用金相显微镜或扫描电子显微镜(SEM)观察截面，放大倍数需确保覆盖层占据视场高度的1/3以上；
3. 图像校准：通过标准标尺对显微镜进行放大倍数校准，误差应小于±2%；
4. 厚度测量：在至少3个不同位置测量覆盖层最薄处与最厚处数值，取算术平均值；
5. 数据记录：记录测量位置示意图、放大倍数及环境条件参数。
显微镜法测量需遵循以下国际及国家标准：
1. ISO 1463:2021：金属和氧化物覆盖层 厚度测量 显微镜法，规定制样要求和测量误差范围；
2. ASTM B487-20：金属覆盖层横截面显微镜测量厚度标准方法，详细说明图像分析技术规范；
3. GB/T 6462-2022：金属覆盖层 厚度测量 显微镜法，明确测量不确定度评估方法；
4. JIS H8501:2019：金属覆盖层试验方法，包含显微测量法的重复性验证要求。
标准中特别强调：当覆盖层厚度小于1μm时需使用SEM测量，常规光学显微镜适用于1-500μm范围的检测，测量不确定度应控制在±5%以内。
