国家标准《表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位中国计量科学研究院、华南理工大学。
主要起草人王海 、张艾蕊 、王梅玲 、任丹华 、徐昕荣 、范燕 。
本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14706: 2014。
采标中文名称:表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染。
标准号： GB/T 40110-2021
发布日期： 2021-05-21
实施日期： 2021-12-01
标准类别： 方法
中国标准分类号： G04
国际标准分类号： 71.040.40
| 71 化工技术 |
| 71.040 分析化学 |
| 71.040.40 化学分析 |
归口单位： 全国微束分析标准化技术委员会
执行单位： 全国微束分析标准化技术委员会
主管部门： 国家标准化管理委员会
本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14706: 2014。
采标中文名称:表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染。
表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染
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