国家标准《表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所。
主要起草人马农农 、何友琴 、陈潇 、张鑫 、王东雪 、李展平 。
本标准等同采用ISO国际标准：ISO 17560：2014。
采标中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法。
标准号： GB/T 40109-2021
发布日期： 2021-05-21
实施日期： 2021-12-01
标准类别： 方法
中国标准分类号： G04
国际标准分类号： 71.040.40
| 71 化工技术 |
| 71.040 分析化学 |
| 71.040.40 化学分析 |
归口单位： 全国微束分析标准化技术委员会
执行单位： 全国微束分析标准化技术委员会
主管部门： 国家标准化管理委员会
本标准等同采用ISO国际标准：ISO 17560：2014。
采标中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法。
表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
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