发布时间：2025-09-18 00:00:00
国家标准《表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法》由TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位清华大学、中国石油大学（北京）。
主要起草人姚文清 、段建霞 、杨立平 、王雅君 、李展平 、徐同广 、王岩华 。
本标准等同采用ISO国际标准：ISO 17109：2015。
采标中文名称:表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法。
标准号： GB/T 41064-2021
发布日期： 2021-12-31
实施日期： 2022-07-01
标准类别： 方法
中国标准分类号： G04
国际标准分类号： 71.040.40
| 71 化工技术 |
| 71.040 分析化学 |
| 71.040.40 化学分析 |
归口单位： 全国微束分析标准化技术委员会
执行单位： 全国微束分析标准化技术委员会
主管部门： 国家标准化管理委员会
本标准等同采用ISO国际标准：ISO 17109：2015。
采标中文名称:表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法。
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