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本专题涉及光学干涉仪测量的标准有14条。
国际标准分类中，光学干涉仪测量涉及到摄影技术、光学设备。
在中国标准分类中，光学干涉仪测量涉及到物质成份分析仪器与环境监测仪器综合、光学仪器综合。
美国材料与试验协会，关于光学干涉仪测量的标准
ASTM E2246-02 用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法
ASTM E2246-05 用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法
ASTM E2244-02 用光学干涉仪测量反射薄膜共面长度的标准试验方法
ASTM E2245-05 用光学干涉仪测量反射薄膜残余应力的标准试验方法
ASTM E2245-02 用光学干涉仪测量反射薄膜残余应力的标准试验方法
ASTM E2245-11 利用光学干涉仪测量反射膜残余应变的标准试验方法
ASTM E2246-11 用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法
ASTM E2244-11e1 采用光学干涉仪测量反射薄膜共面长度的标准试验方法
ASTM E2245-11e1 采用光学干涉仪测量反射薄膜残余应变的标准试验方法
ASTM E2246-11e1 采用光学干涉仪测量反射薄膜应变梯度的标准试验方法
ASTM E2244-05 使用光学干涉仪测量薄膜 反射膜的面内长度的标准测试方法
ASTM E2244-11 使用光学干涉仪测量薄膜 反射膜的面内长度的标准测试方法
ASTM E2244-11(2018) 使用光学干涉仪测量薄膜 反射膜的面内长度的标准测试方法
国际标准化组织，关于光学干涉仪测量的标准
ISO/TR 14999-2:2005 光学和光子学.光学元件和光学系统的干涉仪测量.第2部分:测量和评价技术
