本专题涉及探针检查的标准有11条。
国际标准分类中，探针检查涉及到分析化学、词汇、电学、磁学、电和磁的测量。
在中国标准分类中，探针检查涉及到化学、质谱仪、液谱仪、能谱仪及其联用装置、基础标准与通用方法、检验专用设备。
国际标准化组织，关于探针检查的标准
ISO 15632:2021 微束分析.与扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）一起使用的能量色散X射线光谱仪（EDS）规范和检查用选定仪器性能参数
ISO 18115-2-2013 表面化学分析.词汇表.第2部分:扫描-探针显微镜检查中应用的术语
ISO 15632:2012 微束分析——用于电子探针微分析的能量色散X射线光谱仪规范和检查的选定仪器性能参数
ISO 28600-2011 表面化学分析.扫描探针显微镜检查用数据传送格式
ISO 18115-2-2010 表面化学分析.词汇.第2部分:扫描探针显微镜检查中使用的术语
，关于探针检查的标准
KS D ISO 15632-2018 微束分析 - 用于电子探针微量分析的能量色散X射线光谱仪的规范和检查的选定仪器性能参数
英国标准学会，关于探针检查的标准
BS ISO 15632-2012 微束分析. 用于电子探针显微分析的能量分散X射线光谱仪规范和检查用所选仪器性能参数
BS ISO 18115-2-2010 表面化学分析.词汇表.扫描-探针显微镜检查中应用的术语
欧洲标准化委员会，关于探针检查的标准
EN 12668-2-2001 无损检测超声波检查设备的特性表征和检验.第2部分:探针;包含修改件A1-2004
行业标准-电子，关于探针检查的标准
SJ/T 31122-1994 四探针测试仪完好要求和检查评定方法
SJ/T 31123-1994 自动多探针测试台完好要求和检查评定方法
