本专题涉及能谱仪的标准有59条。
国际标准分类中，能谱仪涉及到分析化学、长度和角度测量、核能工程、辐射测量、光学和光学测量、电学、磁学、电和磁的测量。
在中国标准分类中，能谱仪涉及到基础标准与通用方法、木材竹材防腐、基础标准与通用方法、质谱仪、液谱仪、能谱仪及其联用装置、电化学、热化学、光学式分析仪器、电子光学与其他物理光学仪器、核仪器与核探测器综合、勘探采矿和工艺监测核仪器、航空与航天用非金属材料、通用核仪器、电子测量与仪器综合、电磁计量、电离辐射计量、教育、学位、学衔。
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会关于能谱仪的标准
GB/T 29732-2021 表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准
GB/T 40196-2021 X射线荧光能谱仪测定防腐木材和木材防腐剂中CCA和ACQ的方法
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会关于能谱仪的标准
GB/T 35158-2017 俄歇电子能谱仪检定方法
GB/T 22571-2017 表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准
国家质检总局关于能谱仪的标准
GB/T 20726-2015 微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法
GB/T 29731-2013 表面化学分析 高分辨俄歇电子能谱仪 元素和化学态分析用能量标校准
GB/T 17361-2013 微束分析 沉积岩中自生粘土矿物鉴定 扫描电子显微镜及能谱仪方法
GB/T 25189-2010 微束分析.扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法
GB/T 25184-2010 X射线光电子能谱仪鉴定方法
GB/T 22571-2008 表面化学分析.X射线光电子能谱仪.能量标尺的校准
GB/T 21006-2007 表面化学分析 X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪 强度标的线性
GB/T 20726-2006 半导体探测器X射线能谱仪通则
GB/T 11685-2003 半导体X射线探测器系统和半导体X射线能谱仪的测量方法
德国标准化学会关于能谱仪的标准
DIN ISO 16129-2020 表面化学分析. X射线光电子能谱-评估X射线光电子能谱仪的日常性能的程序(ISO 16129-2018); 英文文本
美国材料与试验协会关于能谱仪的标准
ASTM E1217-11(2019) 用于确定在俄歇电子能谱仪和一些X射线光电子能谱仪中检测到的信号的样品区域的标准实践
ASTM E2108-16 X射线光电子能谱仪的电子结合能量标尺的标准实践
ASTM E1217-11 用于确定在俄歇电子能谱仪和一些X射线光电子能谱仪中检测到的信号的样品区域的标准实践
ASTM E2108-10 X射线光电子能谱仪的电子结合能量标尺的标准实践
ASTM E1217-05 用于确定在俄歇电子能谱仪和一些X射线光电子能谱仪中检测到的信号的样品区域的标准实践
ASTM E2108-05 X射线光电子能谱仪的电子结合能量标尺的标准实践
ASTM E2108-00 X射线光电子能谱仪的电子结合能量标尺的标准实践
ASTM E1217-00 用于确定在俄歇电子能谱仪和一些X射线光电子能谱仪中检测到的信号的样品区域的标准实践
ASTM E902-94(1999) 检查X射线光电子能谱仪工作特性的标准实施规程
国际标准化组织关于能谱仪的标准
ISO 16129-2018 表面化学分析 - X射线光电子能谱 - 评估X射线光电子能谱仪日常性能的方法
ISO 16129:2012 表面化学分析——X射线光电子能谱；X射线光电子能谱仪日常性能评估程序
ISO 16129-2012 表面化学分析.X射线光电子能光谱学.X射线光电子能谱仪日常性能评估规程
ISO 15472:2010 表面化学分析——X射线光电子能谱仪——能量标度的校准
ISO 21270:2004 表面化学分析——X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪——强度标度线性
ISO 21270-2004 表面化学分析 X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪.强度标的线性
ISO 17974:2002 表面化学分析——高分辨率俄歇电子能谱仪——元素和化学状态分析用能量标度的校准
行业标准-核工业关于能谱仪的标准
EJ/T 584-2014 勘查用便携式γ辐射仪和四道γ能谱仪
EJ/T 1139-2001 勘查用γ辐射仪和γ能谱仪性能和测试方法
EJ/T 584-1994 勘探用便携式γ辐射仪和γ能谱仪
行业标准-航空关于能谱仪的标准
HB 20094.4-2012 航空工作液中磨损金属含量检测 第4部分：扫描电镜和能谱仪检测法
HB 20094.3-2012 航空工作液中磨损金属含量检测 第3部分：X荧光能谱仪检测法
英国标准学会关于能谱仪的标准
BS ISO 16129-2012 表面化学分析.X射线光电子能光谱学.X射线光电子能谱仪日常性能评估规程
关于能谱仪的标准
SIS SS IEC 759-1986 核检测仪表．半导体X射线能谱仪检测程序
韩国标准关于能谱仪的标准
KS C IEC 60759-2009 半导体X射线能谱仪的标准试验程序
KS C IEC 60759-2009 半导体X射线能谱仪的标准试验程序
KS D ISO 21270-2005 表面化学分析.X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪.强度标的线性
KS D ISO 21270-2005 表面化学分析.X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪.强度标的线性
美国电气电子工程师学会关于能谱仪的标准
IEEE N 42.14-1999 放射性核素的γ射线放射率测量用锗能谱仪的校正和使用
IEEE N42.14-1990 放射性核素的γ射线放射率测量用锗能谱仪的校正和使用
行业标准-电子关于能谱仪的标准
SJ/T 10714-1996 检查X射线光电子能谱仪工作特性的标准方法
国家计量检定规程关于能谱仪的标准
JJG(教委) 09-1992 电子能谱仪检定规程
JJG(核工) 21-1991 地面γ能谱仪检定规程
JJG(核工) 021-1998 轻便窗式γ能谱仪检定规程
国际电工委员会关于能谱仪的标准
IEC 60759:1983/AMD1:1991 修改件1——半导体X射线能谱仪的标准试验程序
IEC 60759-1983/AMD1-1991 修改件1——半导体X射线能谱仪的标准试验程序
IEC 60759 AMD 1-1991 半导体X射线能谱仪的标准试验程序 修改1
IEC 60759:1983 半导体X射线能谱仪的标准测试程序
IEC 60759-1983 半导体X射线能谱仪的标准试验程序
行业标准-教育关于能谱仪的标准
JY/T 013-1996 电子能谱仪方法通则
