本专题涉及x 射线能谱法的标准有31条。
国际标准分类中，x 射线能谱法涉及到分析化学、犯罪行为防范、纸和纸板、艺术和手工艺品、计量学和测量综合、有色金属。
在中国标准分类中，x 射线能谱法涉及到基础标准与通用方法、造纸综合、犯罪鉴定技术、纸、工艺美术品、化学助剂基础标准与通用方法、、贵金属及其合金。
国家质检总局，关于x 射线能谱法的标准
GB/T 25188-2010 硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法
GB/T 2679.11-2008 纸和纸板 无机填料和无机涂料的定性分析.电子显微镜/X射线能谱法
GB/T 19267.6-2008 刑事技术微量物证的理化检验 第6部分:扫描电子显微镜/X射线能谱法
GB/T 2679.11-1993 纸和纸板中无机填料和无机涂料的定性分析 电子显微镜/X射线能谱法
公安部，关于x 射线能谱法的标准
GA/T 1939-2021 法庭科学 电流斑检验 扫描电子显微镜/X射线能谱法
GA/T 1938-2021 法庭科学 金属检验 扫描电子显微镜/X射线能谱法
GA/T 1937-2021 法庭科学 橡胶检验 扫描电子显微镜/X射线能谱法
GA/T 1519-2018 法庭科学 墨粉元素成分检验 扫描电子显微镜/X射线能谱法
GA/T 1520-2018 法庭科学 黑火药、烟火药元素成分检验 扫描电子显微镜/X射线能谱法
GA/T 1522-2018 法庭科学 射击残留物检验 扫描电子显微镜/X射线能谱法
GA/T 1521-2018 法庭科学 塑料元素成分检验 扫描电子显微镜/X射线能谱法
GA/T 823.3-2018 法庭科学油漆物证的检验方法 第3部分:扫描电子显微镜/X射线能谱法
青海省质量技术监督局，关于x 射线能谱法的标准
DB63/T 1678-2018 唐卡中矿物颜料的测定 X射线荧光光谱法（能谱法）
国际标准化组织，关于x 射线能谱法的标准
ISO 18554:2016 表面化学分析.电子光谱法.用X射线光电子能谱法分析的材料中X射线非预期降解的评定和校正程序
ISO 17109-2015 表面化学分析. 深度剖析. 使用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱, 俄歇电子能谱以及二次离子质谱法溅射深度剖析中溅射率的方法
ISO 17109:2015 表面化学分析 - 深度分析 - X射线光电子能谱法中的溅射速率测定方法 俄歇电子能谱和二次离子质谱法使用单层和多层薄膜的溅射深度分析
英国标准学会，关于x 射线能谱法的标准
BS ISO 17109-2015 表面化学分析. 深度剖析. 使用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱, 俄歇电子能谱以及二次离子质谱法溅射深度剖析中溅射率的方法
BS ISO 17109-2015 表面化学分析. 深度剖析. 使用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱, 俄歇电子能谱以及二次离子质谱法溅射深度剖析中溅射率的方法
BS ISO 10810-2010 表面化学分析.X射线光电子能谱法.分析指南
BS ISO 10810-2010 表面化学分析.X射线光电子能谱法.分析指南
美国材料与试验协会，关于x 射线能谱法的标准
ASTM E1523-15 X射线光电子能谱法中电荷控制和电荷参考技术的标准指南
ASTM E1523-09 X射线光电子能谱法中电荷控制和电荷参考技术的标准指南
ASTM E1523-03 X射线光电子能谱法中电荷控制和电荷参考技术的标准指南
ASTM E1523-97 X射线光电子能谱法中电荷控制和电荷参考技术的标准指南
广东省质量技术监督局，关于x 射线能谱法的标准
DB44/T 1216-2013 利用扫描电子显微术和X射线能谱法表征石墨烯的特性
DB44/T 1215-2013 利用扫描电子显微术和X射线能谱法表征单壁碳纳米管的特性
法国标准化协会，关于x 射线能谱法的标准
NF X21-071-2011 表面化学分析.X射线光电子能谱法.分析用导则
NF X21-058-2006 表面化学分析.俄歇电子能谱学和X射线光电子光谱法.测定峰强度使用的方法和报告结果时需要的信息
行业标准-有色金属，关于x 射线能谱法的标准
YS/T 644-2007 铂钌合金薄膜测试方法 X射线光电子能谱法 测定合金态铂及合金态钌含量
澳大利亚标准协会，关于x 射线能谱法的标准
AS ISO 19319-2006 表面化学分析．Augur电子能谱法和X射线光电子光谱法．分析员对横向分辨率；分析区域和样品区域的目视检测
AS ISO 18118-2006 表面化学分析．俄歇电子能谱法和X射线光电子光谱法．均质材料定量分析中实验测定的相对灵敏系数使用指南
