薄膜测试检测

本专题涉及薄膜测试的标准有142条。

国际标准分类中，薄膜测试涉及到金属材料试验、光学和光学测量、有机化学、半导体材料、农业和林业、真空技术、电学、磁学、电和磁的测量、集成电路、微电子学、墨水、油墨、表面处理和镀涂、麻袋、袋子、长度和角度测量、涂料和清漆、橡胶和塑料制品、太阳能工程、摄影技术、包装材料和辅助物、电线和电缆、陶瓷、水质、润滑系统、半导体分立器件、电子电信设备用机电元件、有色金属、分析化学、土质、土壤学、建筑物中的设施、石蜡、沥青材料和其他石油产品、润滑剂、工业油及相关产品、空气质量、玻璃、塑料、办公机械、道路工程、有色金属产品、电子元器件综合、力、重力和压力的测量、流体流量的测量、化工设备、道路车辆综合。

在中国标准分类中，薄膜测试涉及到金属物理性能试验方法、仪器、仪表用材料和元件、有机化工原料综合、半金属与半导体材料综合、、、、、、、太阳能、特种陶瓷、包装材料与容器、涂料、其他、半导体分立器件综合、涂料基础标准与通用方法、电工绝缘材料及其制品、贵金属及其合金、塑料型材、土壤、肥料综合、供水、排水器材设备、电子设备专用微特电机、合成树脂、塑料基础标准与通用方法、半金属、计算机外围设备、办公用品及办公机具、建材产品综合、电位器、电子元件综合、农牧、农垦工程、航天器综合、水环境有毒害物质分析方法、液压与气动装置、分离机械、物质成份分析仪器与环境监测仪器综合、航空与航天用非金属材料、车身（驾驶室）及附件、材料防护、基础标准与通用方法。

国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于薄膜测试的标准

GB/T 40279-2021 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法

GB/T 40293-2021 红外硫系光学薄膜折射率测试方法

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会，关于薄膜测试的标准

GB/T 34261-2017 偏光片用光学薄膜 抗划伤的测试

国家质检总局，关于薄膜测试的标准

GB/T 27583-2011 光学功能薄膜 反射眩光性能测试方法

GB/T 25256-2010 光学功能薄膜 离型膜 180°剥离力和残余黏着率测试方法

GB/T 6616-2009 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法

GB/T 22586-2008 高温超导薄膜微波表面电阻测试

江苏省标准，关于薄膜测试的标准

DB32/T 4378-2022 衬底表面纳米、亚微米尺度薄膜 方块电阻的无损测试 四探针法

DB32/T 3792-2020 石墨烯薄膜透光率测试 透光率仪法

DB32/T 3459-2018 石墨烯薄膜微区覆盖度测试 扫描电子显微镜法

中国团体标准，关于薄膜测试的标准

T/GVS 005-2022 半导体装备用绝压电容薄膜真空计比对法测试规范

T/XAI 12-2021 覆晶薄膜基板电气检查测试方法

T/CSTM 00313-2021 基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法

T/CSTM 00537-2021 微纳薄膜相变温度测试 光功率分析法

T/XAI 9-2021 覆晶薄膜油墨硬度测试方法

T/XAI 8-2021 覆晶薄膜化锡厚度测试方法 库仑法

T/XAI 7-2021 覆晶薄膜耐弯折性能测试方法

T/CSPSTC 25-2019 硅基薄膜光伏组件光致衰减测试方法

，关于薄膜测试的标准

NORVEN 517-1976 委内瑞拉薄膜标准中关于薄膜抗断裂能力的测试

美国材料与试验协会，关于薄膜测试的标准

ASTM D5796-20 使用镗孔装置通过破坏性方法测量薄膜线圈涂覆系统的干膜厚度的标准测试方法

ASTM D3363-20 通过铅笔测试的薄膜硬度的标准测试方法

ASTM D7093-19 在双轴拉伸圆顶上的钢上的薄膜有机涂层的成形性的标准测试方法

ASTM D3456-18 通过外部暴露测定的标准实践测试了油漆薄膜对微生物攻击的敏感性

ASTM D7767-11(2018) 从辐射可固化丙烯酸酯单体 低聚物和共混物和薄膜制成的测量挥发物的标准测试方法

ASTM E2244-11(2018) 使用光学干涉仪测量薄膜 反射膜的面内长度的标准测试方法

ASTM F3300-18 用往复加权测针测试软包装薄膜耐磨性的标准试验方法

ASTM D1676-17 薄膜绝缘电磁线的标准测试方法

ASTM D4881-05(2017) 带有胶带或薄膜的磁铁线的耐热性的标准测试方法

ASTM D7217-16 使用高频线性振荡（SRV）测试机确定固体粘合薄膜极压性能的标准测试方法

ASTM D7093-13 在双轴拉伸圆顶上的钢上的薄膜有机涂层的成形性的标准测试方法

ASTM E2244-11 使用光学干涉仪测量薄膜 反射膜的面内长度的标准测试方法

ASTM D3363-05(2011)e1 通过铅笔测试的薄膜硬度的标准测试方法

ASTM D7306-07 用目测法测试乳胶涂料的低温薄膜成形用标准实施规程

ASTM E2244-05 使用光学干涉仪测量薄膜 反射膜的面内长度的标准测试方法

ASTM D1676-03(2011) 带绝缘薄膜的磁性导线的标准测试方法

ASTM D1204-02 高温下非硬性热塑塑料薄板或薄膜线性尺寸变化的标准测试方法

ASTM D4881-97 带有胶带或薄膜的磁铁线的耐热性的标准测试方法

ASTM D3363-00 通过铅笔测试的薄膜硬度的标准测试方法

ASTM F374-00a 用单型程序直列式四点探针法测定硅外延层、扩散层、多晶硅层和离子注入层的薄膜电阻的测试方法

ASTM D5796-99 使用镗孔装置通过破坏性方法测量薄膜线圈涂覆系统的干膜厚度的标准测试方法

ASTM F1232-98 一次性薄膜色带测试码模式的形成

ASTM F1232-98(2008) 一次性薄膜色带测试码模式的形成的标准实施规程

ASTM D3633-98 薄膜铺面系统电阻率的测试方法

ASTM D3633-98(2006) 薄膜铺面系统电阻率的测试方法

ASTM F1232-98(2003) 一次性薄膜色带测试码模式的形成

ASTM D3456-86(1996) 通过外部暴露测定的标准实践测试了油漆薄膜对微生物攻击的敏感性

ASTM D5886-95(2006) 透过特殊用途土工薄膜的流体渗透率测试方法选择的标准指南

ASTM D5886-95(2001) 透过特殊用途土工薄膜的流体渗透率测试方法选择的标准指南

ASTM D5886-95 透过特殊用途土工薄膜的流体渗透率测试方法选择的标准指南

ASTM D1204-94e1 高温下非硬性热塑塑料薄板或薄膜线性尺寸变化的标准测试方法

ASTM D3861-91(1998) 薄膜过滤器中水可萃取物质量测试方法

ASTM E1294-89(1999) 用自动液体孔率计检验薄膜过滤器的孔径特性的测试方法

ASTM D2861-87(1998) 复合型带介电薄膜或精致纤维的铜箔柔韧性测试方法

国际标准化组织，关于薄膜测试的标准

ISO 527-3-2018 塑料 - 拉伸性能的测定 - 第3部分:薄膜和薄片的测试条件

ISO 23559:2007 塑料.薄膜和薄板.热塑薄膜的测试指南

工业和信息化部，关于薄膜测试的标准

JC/T 2409-2017 精细陶瓷薄膜结合力测试方法

德国标准化学会，关于薄膜测试的标准

DIN 16995-2016 包装用薄膜.塑料薄膜.性能,测试

DIN EN 15458-2014 涂料和清漆.防藻类涂层中薄膜防腐剂功效的测试用实验室方法.德文版本EN 15458-2014

DIN EN 15457-2014 涂料和清漆.防霉菌涂层中薄膜防腐剂功效的测试用实验室方法.德文版本EN 15457-2014

DIN 55403-2014 包装测试. 包装薄膜的试验方法. 卷曲倾向的测定

DIN EN 62047-12-2012 半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法(IEC 62047-12-2011).德文版本EN 62047-12-2011

DIN 16995-2009 包装用薄膜.塑料薄膜.性能,测试

DIN EN 15457-2007 涂料和清漆.防霉菌涂层中薄膜防腐剂功效的测试用实验室方法

DIN EN 15458-2007 涂料和清漆.防藻类涂层中薄膜防腐剂功效的测试用实验室方法

国际电工委员会，关于薄膜测试的标准

IEC 62047-17:2015 半导体器件 - 微机电器件 - 第17部分:用于测量薄膜机械性能的膨胀测试方法

IEC 62047-17-2015 半导体器件 - 微机电器件 - 第17部分:用于测量薄膜机械性能的膨胀测试方法

IEC 62047-18-2013 半导体器件 - 微机电器件 - 第18部分:薄膜材料的弯曲测试方法

IEC 62047-18:2013 半导体器件.微型机电器件.第18部分:薄膜材料的弯曲测试方法

IEC 62047-12-2011 半导体器件 - 微机电器件 - 第12部分:使用谐振器振荡的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法

IEC 62047-12:2011 半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法

IEC 62047-2-2006 半导体器件 - 微机电器件 - 第2部分:薄膜材料的拉伸测试方法

IEC 60748-23-2-2002 半导体器件 - 集成电路 - 第23-2部分:混合集成电路和薄膜结构 - 制造线认证 - 内部目视检查和特殊测试

立陶宛标准局，关于薄膜测试的标准

LST EN 15457-2014 涂料和清漆. 防霉菌涂层中薄膜防腐剂功效的测试用实验室方法

法国标准化协会，关于薄膜测试的标准

NF T30-116-2014 涂料和清漆.防藻类涂层中薄膜防腐剂功效的测试用实验室方法

NF T30-115-2014 涂料和清漆.防霉菌涂层中薄膜防腐剂功效的测试用实验室方法

NF C96-050-12-2012 半导体器件 - 微型机电装置 - 第12部分: 使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法.

NF P41-602-2007 建筑内水调节设备.薄膜分离设备.性能、安全和测试的要求

NF P41-602/IN1-2007 建筑物内水调节设备.薄膜分离设备.性能、安全和测试要求

英国标准学会，关于薄膜测试的标准

BS EN 15457-2014 涂料和清漆.防霉菌涂层中薄膜防腐剂功效的测试用实验室方法

BS EN 15458-2014 涂料和清漆.防藻类涂层中薄膜防腐剂功效的测试用实验室方法

BS EN 62047-18-2013 半导体器件.微型机电装置.薄膜材料的弯曲测试方法

BS ISO 23559:2011 塑料.薄膜和薄板.热塑薄膜测试指南

BS EN 15458-2007 涂料和清漆.防藻类涂层中薄膜防腐剂功效的测试用实验室方法

BS EN 15457-2007 涂料和清漆.防霉菌涂层中薄膜防腐剂功效的测试用实验室方法

BS EN 62047-3-2006 半导体器件.微机电设备.拉伸测试的薄膜标准试样

BS EN 14652-2005+A1-2007 建筑物内水调节设备.薄膜分离装置.性能、安全和测试要求

日本工业标准调查会，关于薄膜测试的标准

JIS C5630-12-2014 半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法

JIS K5601-4-1-2012 涂料组分的测试方法.第4部分:薄膜排放的组分分析.第1节:甲醛排放的测定

JIS C5630-6-2011 半导体器件.微电机装置.第6部分:薄膜材料的轴向疲劳测试方法

JIS C5630-3-2009 半导体器件.微型机电器件.第3部分:拉伸测试用薄膜标准试样

JIS C5630-2-2009 半导体器件.微型机电器件.第2部分:薄膜材料的拉伸测试方法

JIS K5601-4-2-2008 涂料组分的测试方法.第4部分:薄膜排放组分的分析.第2节:挥发性有机化合物

JIS K5600-7-7-2008 涂料的测试方法.第7部分:薄膜的长周期性能.第7节:加速风化和暴露于人工辐射(暴露于过滤的氙弧辐射)

JIS K5601-4-1-2003 涂料组分的测试方法.第4部分:薄膜排放的组分分析.第1节:甲醛

JIS K6768-1995 聚乙烯和聚丙烯薄膜润湿度的测试方法

JIS K3833-1990 薄膜滤器扩散流量的测试方法

JIS K3831-1990 薄膜滤器初始流速的测试方法

JIS K3834-1990 薄膜过滤水比阻抗复原特性的测试方法

JIS K3835-1990 薄膜滤器过滤细菌能力测定的测试方法

JIS K3832-1990 薄膜滤器起泡点的测试方法

JIS K3805-1990 用不同溶解物的水溶液测试反渗透薄膜元件和组件的溶解物排斥和水溶剂的试验方法

JIS K6766-1977 金属表面的聚乙烯薄膜的测试方法

行业标准-有色金属，关于薄膜测试的标准

YS/T 839-2012 硅衬底上绝缘体薄膜厚度及折射率的椭圆偏振测试方法

YS/T 644-2007 铂钌合金薄膜测试方法 X射线光电子能谱法 测定合金态铂及合金态钌含量

韩国标准，关于薄膜测试的标准

KS F 2347-2007 利用橡胶薄膜法的土壤现场密度测试方法

KS M 2452-2003 通过薄膜氧化试验(TFOUT)测试汽车发动机用油的氧化稳定性方法

欧洲标准化委员会，关于薄膜测试的标准

EN 15458-2007 涂料和清漆.防藻类涂层中薄膜防腐剂功效的测试用实验室方法

EN 15457-2007 涂料和清漆.防霉菌涂层中薄膜防腐剂功效的测试用实验室方法

EN 837-3-1996 压力计.第3部分:薄膜和封装压力计尺寸,计量,要求和测试已经批准的欧洲文本;修正1997-01-16

美国防腐工程师协会，关于薄膜测试的标准

NACE 1D182-2005 用于油田耐久薄膜腐蚀抑制剂评估的车轮测试方法.项目编号24007

美国国家标准学会，关于薄膜测试的标准

ANSI/ASTM D2923:2001 聚烯烃薄膜和薄板刚性的测试方法(08.02)

ANSI/ASTM D2861:1998 复合型带介电薄膜或精致纤维的铜箔柔韧性测试方法

印度尼西亚标准，关于薄膜测试的标准

SNI 06-4209.3-1998 塑料制品. 抗拉性的测定. 第3部分：薄膜和薄片的测试条件

澳大利亚标准协会，关于薄膜测试的标准

AS/NZS 1580.107.3-1997 油漆及类似材料 测试方法 用量规测定湿薄膜厚度

AS/NZS 1580.602.2-1995 油漆及类似材料 测试方法 20度、60度和85度条件下进行非金属性油漆薄膜镜面光泽测量

AS/NZS 2341.10-1994 沥青和相关修路产品的测试方法．加热和空气对移动沥青膜影响的测定（压延薄膜炉试验）

AS/NZS 1580.108.1-1994 油漆及类似材料 测试方法 在金属底层上用非破坏性方法测定干薄膜厚度

行业标准-电子，关于薄膜测试的标准

SJ 20613-1996 交流薄膜电致发光矩阵显示器件测试方法

行业标准-航天，关于薄膜测试的标准

QJ 2524-1993 卫星用抗静电薄膜稳定性能测试方法

欧洲航空工业协会，关于薄膜测试的标准

AECMA PREN 2667-6-1989 航天系列测试法测定水吸收的结构性泡沫薄膜胶粘剂.P1版

美国通用公司（北美），关于薄膜测试的标准

GM9011P-1988 封闭件,消音设置及乙烯基薄膜的抗冷震性测试

美国机动车工程师协会，关于薄膜测试的标准

SAE J138-1969 针对测试对象动态研究的薄膜分析指南

行业标准-能源，关于薄膜测试的标准

NB/T 10827-2021 动力电池薄膜离子电导率的测试方法