国家标准《磷化铟单晶》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位中国电子科技集团公司第十三研究所、云南鑫耀半导体材料有限公司、广东先导微电子科技有限公司、有研国晶辉新材料有限公司、有色金属技术经济研究院有限责任公司。
主要起草人孙聂枫 、李晓岚 、王阳 、刘惠生 、惠峰 、李素青 、朱刘 、王书杰 、邵会民 、周铁军 、史艳磊 、付莉杰 、王博 、张晓丹 、姜剑 、王宇 。
全部代替GB/T 20230-2006
标准号: GB/T 20230-2022
发布日期: 2022-03-09
实施日期: 2022-10-01
全部代替标准: GB/T 20230-2006
标准类别: 产品
中国标准分类号: H83
国际标准分类号: 29.045
| 29 电气工程 |
| 29.045 半导体材料 |
归口单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位: 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门: 国家标准化管理委员会
全部代替 GB/T 20230-2006
20031802-T-610 磷化铟单晶
20200798-T-469 磷化铟单晶
磷化铟单晶
GB/T 20230-2006 磷化铟单晶
磷化铟多晶
20160589-T-469 磷化铟多晶
GB/T 36706-2018 磷化铟多晶
磷化镓单晶
20031800-T-610 磷化镓单晶
20194175-T-469 磷化镓单晶
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