表面电阻率测量检测

本专题涉及表面电阻率测量的标准有8条。

国际标准分类中，表面电阻率测量涉及到防护设备、玻璃、半导体材料。

在中国标准分类中，表面电阻率测量涉及到劳动防护用品、陶瓷、玻璃综合、元素半导体材料。

英国标准学会，关于表面电阻率测量的标准

BS EN 1149-1-2006 防护服.静电性能.表面电阻率的测量用试验方法

欧洲标准化委员会，关于表面电阻率测量的标准

EN 1149-1-2006 防护服.静电性能.第1部分:测量表面电阻率的测试方法

，关于表面电阻率测量的标准

CSN 34 6412-1985 电绝缘材料的试验方法．通过表面电阻率测量对电器材料抗霉性的测定

美国材料与试验协会，关于表面电阻率测量的标准

ASTM F672-88(1995)e1 用扩展电阻探针测量垂直于硅片表面电阻率分布的标准试验方法

ASTM F672-1988(1995)e1 用分布电阻探头测量硅晶片垂直于表面的纵断面电阻率的标准试验方法

日本工业标准调查会，关于表面电阻率测量的标准

JIS R3256-1998 玻璃衬底用表面电阻率的测量方法