光学零件是精密仪器、光学系统及现代光电设备的核心组件，广泛应用于相机镜头、显微镜、激光设备、航空航天传感器等领域。其性能直接决定了光学系统的成像质量、能量传输效率和整体可靠性。因此，光学零件检测是制造过程中不可或缺的环节，旨在确保零件符合设计要求的几何精度、表面质量、材料性能及光学参数。随着高精度加工技术的快速发展，检测技术也日益精细化，从传统目视检查到自动化高精度仪器分析，检测内容覆盖了表面缺陷、面形误差、镀膜特性、折射率均匀性等多个维度。
光学零件的检测涵盖以下核心项目：
1. 表面粗糙度与缺陷检测：包括划痕、麻点、崩边等表面瑕疵；
2. 面形精度：如平面度、球面曲率半径、非球面面形误差；
3. 材料均匀性：折射率分布、气泡、杂质等内部缺陷；
4. 镀膜性能：膜层厚度、附着力、光谱反射/透射率；
5. 尺寸与几何公差：直径、厚度、偏心度、倾斜角等；
6. 光学参数检测：透过率、散射损耗、波前畸变等。
针对不同检测需求，主要采用以下仪器：
1. 激光干涉仪：用于面形精度与波前分析，精度可达λ/20（λ为波长）；
2. 白光轮廓仪：实现纳米级表面粗糙度测量；
3. 分光光度计：分析镀膜光谱特性及透过率；
4. 光学显微镜与共聚焦显微镜：观测微观表面缺陷；
5. 三坐标测量机（CMM）：高精度几何尺寸检测；
6. 折射率均匀性测试仪：评估材料内部光学一致性。
检测方法根据项目特点选择：
1. 干涉法：利用激光或白光干涉原理，通过相位对比分析面形误差；
2. 接触式与非接触式测量：触针轮廓仪适用于硬质材料，光学轮廓仪则避免接触损伤；
3. 光谱分析法：通过透射/反射光谱曲线评估镀膜性能；
4. 图像处理技术：结合AI算法自动识别表面缺陷；
5. 环境控制检测：在恒温、低振动环境中进行高精度测试，减少外界干扰。
检测需遵循国际及行业标准，例如：
1. ISO 10110：国际通用的光学制图与检测标准，规范表面缺陷等级、面形公差等；
2. GB/T 1185：中国国家标准，涵盖光学零件表面质量要求；
3. MIL-PRF-13830B：美国军用标准，严格规定划痕-麻点等级；
4. 行业特定标准：如半导体光刻镜头对波前误差的严苛要求（PV值≤λ/50）；
5. 企业内控标准：部分高端制造商制定更严格的检测阈值，以提升产品竞争力。
