本专题涉及气相沉积技术的标准有1条。
国际标准分类中,气相沉积技术涉及到表面处理和镀涂。
在中国标准分类中,气相沉积技术涉及到材料防护。
GB/T 18682-2002 物理气相沉积TiN薄膜技术条件
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