膜电阻测试检测

本专题涉及膜电阻测试的标准有13条。

国际标准分类中，膜电阻测试涉及到涂料和清漆、半导体材料、建筑材料、金属材料试验、半导体分立器件、道路工程。

在中国标准分类中，膜电阻测试涉及到半金属与半导体材料综合、涂料基础标准与通用方法、金属物理性能试验方法、基础标准与通用方法、建材产品综合、半金属。

韩国科技标准局，关于膜电阻测试的标准

KS M 5971-1999 如何溶剂型油漆的干膜的电阻测试

KS L 1619-2013(2018) 四探针阵列导电陶瓷薄膜电阻率测试方法

KS L 1619-2023 四点探针阵列导电精细陶瓷薄膜电阻率测试方法

国家质检总局，关于膜电阻测试的标准

GB/T 6616-2009 半导体硅片电阻率及硅薄膜薄层电阻测试方法 非接触涡流法

GB/T 22586-2008 高温超导薄膜微波表面电阻测试

GB/T 6616-2023 半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法

国家军用标准-国防科工委，关于膜电阻测试的标准

GJB 6401-2008 漆膜高温电阻率测试方法

国家军用标准-总装备部，关于膜电阻测试的标准

GJB 8806-2015 漆膜高温电阻率测试方法

英国标准学会，关于膜电阻测试的标准

BS IEC 62951-6:2019 半导体器件 柔性和可拉伸半导体器件 柔性导电薄膜方块电阻的测试方法

行业标准-航天，关于膜电阻测试的标准

QJ 1827-1989 低阻值金属镀覆层和化学转换膜层接触电阻测试方法

美国材料与试验协会，关于膜电阻测试的标准

ASTM D3633-98 薄膜铺面系统电阻率的测试方法

ASTM D3633-98(2006) 薄膜铺面系统电阻率的测试方法

ASTM F374-00a 用单型程序直列式四点探针法测定硅外延层、扩散层、多晶硅层和离子注入层的薄膜电阻的测试方法