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本专题涉及感度在光刻胶中的标准有2条。
国际标准分类中,感度在光刻胶中涉及到长度和角度测量。
在中国标准分类中,感度在光刻胶中涉及到。
德国机械工程师协会,关于感度在光刻胶中的标准
VDI/VDE 2617 Blatt 6.2-2005 坐标测量机的精度 特性及其测试 DIN EN ISO 10360 在带光学距离传感器的坐标测量机中的应用指南
SCC,关于感度在光刻胶中的标准
VDI/VDE 2617 BLATT 6.1-2007 坐标测量装置的精度 参数及其测试 光学扫描坐标测量装置 侧面结构光学传感器坐标测量装置 DIN EN ISO 10360 应用指南





