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本专题涉及硅晶圆的标准有2条。
国际标准分类中,硅晶圆涉及到。
在中国标准分类中,硅晶圆涉及到。
IET - Institution of Engineering and Technology,关于硅晶圆的标准
SILI WAFER BOND TECH VLSI MEMS APPL-2002 用于 VLSI 和 MEMS 应用的硅晶圆键合技术
欧洲电工标准化委员会,关于硅晶圆的标准
EN 50513:2009 日光晶圆.太阳能制造用的水晶硅圆片的数据表和产品信息





