本专题涉及硅氧碳含量的标准有8条。
国际标准分类中,硅氧碳含量涉及到集成电路、微电子学、金属材料试验。
在中国标准分类中,硅氧碳含量涉及到微电路综合、半金属及半导体材料分析方法、。
SJ 20636-1997 IC用大直径薄硅片的氧、碳含量微区试验方法
SR 5063/6-1993 碳化硅.二氧化硅含量测定
STAS 5063/11-1993 碳化硅.测定氧化钙含量
SR 5063/9-1993 碳化硅.三氧化二铁含量的测定
STAS 9281/11-1992 碳化硅耐火制品.氧化钛含量测定
STAS 9281/6-1974 碳化硅耐火材料.三氧化铝含量的测定
GB/T 35306-2023 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
GB/T 35306-2017 硅单晶中碳、氧含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法
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