本专题涉及硅片 碳的标准有3条。
国际标准分类中,硅片 碳涉及到太阳能工程、集成电路、微电子学。
在中国标准分类中,硅片 碳涉及到太阳能、微电路综合。
国家质检总局,关于硅片 碳的标准
GB/T 32281-2015 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法
德国标准化学会,关于硅片 碳的标准
DIN V VDE V 0126-18-6-2007 太阳能硅片.第6部分:光电器件用硅中代位碳原子和间隙氧含量的测量方法
行业标准-电子,关于硅片 碳的标准
SJ 20636-1997 IC用大直径薄硅片的氧、碳含量微区试验方法





