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本专题涉及晶体缺陷的标准有7条。
国际标准分类中，晶体缺陷涉及到半导体材料、金属材料试验、有色金属、集成电路、微电子学。
在中国标准分类中，晶体缺陷涉及到半金属与半导体材料综合、金相检验方法、金属化学性能试验方法、元素半导体材料。
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于晶体缺陷的标准
GB/T 8756-2018 锗晶体缺陷图谱
GB/T 37051-2018 太阳能级多晶硅锭、硅片晶体缺陷密度测定方法
国家质检总局，关于晶体缺陷的标准
GB/T 8756-1988 锗晶体缺陷图谱
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会，关于晶体缺陷的标准
GB/T 35316-2017 蓝宝石晶体缺陷图谱
韩国科技标准局，关于晶体缺陷的标准
KS D 0258-2012(2022) 用优先蚀刻技术测试硅中晶体缺陷的方法
日本工业标准调查会，关于晶体缺陷的标准
JIS H 0609:1999 用优选浸蚀技术检测硅中晶体缺陷的试验方法
德国标准化学会，关于晶体缺陷的标准
DIN 50443-1:1988 半导体工艺使用材料的检验.第1部分:用X射线外形测量法检测半导体单晶硅中晶体缺陷和不均匀性
