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本专题涉及微纳米拉伸机的标准有11条。
国际标准分类中,微纳米拉伸机涉及到光学设备、水质、集成电路、微电子学、光学和光学测量、半导体分立器件、分析化学、航空航天制造用材料。
在中国标准分类中,微纳米拉伸机涉及到稀有金属及其合金分析方法、家用电器基础标准与通用方法、微型组件、光学测试仪器、基础标准与通用方法、电子设备专用微特电机、半导体分立器件综合、航空与航天用非金属材料。
韩国科技标准局,关于微纳米拉伸机的标准
KS D 2715-2017 单晶和多晶纳米/微米薄膜材料的拉伸试样
KS D 2715-2006(2011) 单和多晶纳米的拉伸试样/微薄膜材料
KS D 2715-2006 单晶硅和多晶硅纳米/微薄膜拉伸的试样
中国团体标准,关于微纳米拉伸机的标准
T/CC 1-2019 微纳米气泡机
国家质检总局,关于微纳米拉伸机的标准
GB/T 42897-2023 微机电系统(MEMS)技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法
GB/T 33252-2016 纳米技术 激光共聚焦显微拉曼光谱仪性能测试
GB/T 38531-2020 微束分析 致密岩石微纳米级孔隙结构计算机层析成像(CT)分析方法
英国标准学会,关于微纳米拉伸机的标准
23/30454370 DC BS EN IEC 62047-46 半导体器件 微机电器件 第 46 部分 硅基 MEMS 制造技术 纳米级膜拉伸强度的测量方法
BS EN 62047-3:2006 半导体器件.微机电设备.拉伸测试的薄膜标准试样
BS EN 62047-2:2006 半导体器件.微型机电器件.薄膜材料的拉伸试验方法
美国机动车工程师协会,关于微纳米拉伸机的标准
SAE AMS3901/9B-1998 1.2%精整,高模数OY 390(2689)/23.9拉伸强度,17.5(121)/970拉伸模数380极微量(420 d tex)有机纤维(对位芳族)纱线





