本专题涉及扫描显微镜的标准有64条。
国际标准分类中，扫描显微镜涉及到分析化学、光学和光学测量、长度和角度测量、词汇、教育、有色金属、光学设备、空气质量、损检测。
在中国标准分类中，扫描显微镜涉及到基础标准与通用方法、电子光学与其他物理光学仪器、光学计量、、教学专用仪器、化学、放大镜与显微镜、基础标准与通用方法、稀有金属及其合金分析方法、材料防护。
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会关于扫描显微镜的标准
GB/T 36052-2018 表面化学分析 扫描探针显微镜数据传送格式
GB/T 36052-2018 表面化学分析 扫描探针显微镜数据传送格式
国家质检总局关于扫描显微镜的标准
GB/T 36052-2018 表面化学分析 扫描探针显微镜数据传输格式
GB/T 29190-2012 扫描探针显微镜漂移速率测量方法
GB/Z 26083-2010 八辛氧基酞菁铜分子在石墨表面吸附结构的测试方法（扫描隧道显微镜）
国际标准化组织关于扫描显微镜的标准
ISO 18115-2-2021 表面化学分析词汇第2部分:扫描探针显微镜术语
ISO 21222-2020 表面化学分析.扫描探针显微镜.用原子力显微镜和两点JKR法测定柔顺材料弹性模量的程序
ISO 11952-2019 表面化学分析.扫描探针显微镜.用SPM测定几何量:测量系统的校准
ISO 11952:2019 表面化学分析.扫描探针显微镜.用SPM测定几何量:测量系统的校准
ISO 11775:2015 表面化学分析 - 扫描探针显微镜 - 悬臂弹簧常数的测定
ISO 11775-2015 表面化学分析. 扫描探针显微镜. 普通悬臂弹簧常数的测定
ISO 13083:2015 表面化学分析.扫描探针显微镜.用于2D掺杂成像和其他目的的电扫描探针显微镜（ESPM）的空间分辨率定义和校准标准 如SSRM和SCM
ISO 11952:2014 表面化学分析.扫描探针显微镜.用SPM测定几何量:测量系统的校准
ISO 11952-2014 表面化学分析. 扫描探针显微镜. 使用SPM测定几何量:测量系统校准
ISO 18115-2-2013 表面化学分析.词汇表.第2部分:扫描-探针显微镜检查中应用的术语
ISO 18115-2:2013 表面化学分析——词汇第2部分:扫描探针显微镜术语
ISO 11039-2012 表面化学分析.扫描探针显微镜.漂移率的测定标准
ISO 11039:2012 表面化学分析——扫描探针显微镜——漂移率的测量
ISO 27911-2011 表面化学分析.扫描探针显微镜.近场光学显微镜横向分辨率的定义与校准
ISO 27911:2011 表面化学分析——扫描探针显微镜——近场光学显微镜横向分辨率的定义和校准
ISO 28600-2011 表面化学分析.扫描探针显微镜检查用数据传送格式
ISO 28600:2011 表面化学分析——扫描探针显微镜的数据传输格式
ISO 18115-2:2010 表面化学分析词汇第2部分:扫描探针显微镜术语
ISO 18115-2-2010 表面化学分析.词汇.第2部分:扫描探针显微镜检查中使用的术语
工业和信息化部关于扫描显微镜的标准
SJ/T 11759-2020 光伏电池电极栅线高宽比的测量 激光扫描共聚焦显微镜法
美国材料与试验协会关于扫描显微镜的标准
ASTM E2382-04(2020) 扫描隧道显微镜和原子力显微镜中的扫描仪和尖端相关人工标准指南
ASTM F1438-93(2020) 用于气体分配系统部件扫描隧道显微镜测定表面粗糙度的标准测试方法
ASTM E2382-04(2012) 扫描隧道显微镜和原子力显微镜中的扫描仪和尖端相关人工标准指南
ASTM F1438-93(2012) 用于气体分配系统部件扫描隧道显微镜测定表面粗糙度的标准测试方法
ASTM E2382-2004 扫描隧道显微镜学和原子力显微镜学中扫描器和与触点相关物品的指南
ASTM E2382-2004(2012) 扫描隧道显微镜学和原子力显微镜学中扫描器和与触点相关物品的标准指南
ASTM F1438-93(2005) 用于气体分配系统部件扫描隧道显微镜测定表面粗糙度的标准测试方法
ASTM F1438-93(1999) 用于气体分配系统部件扫描隧道显微镜测定表面粗糙度的标准测试方法
ASTM E1813-96(2002) 扫描探针显微镜学中探针针尖形状测量与报告的标准规程
ASTM E1813-96e1 扫描探针显微镜学中探针针尖形状测量与报告的标准规程
ASTM F1438-1993(2012) 使用气体分配系统组件中扫描隧道显微镜测定表面粗糙度的标准试验方法
教育部关于扫描显微镜的标准
JY/T 0582-2020 扫描探针显微镜分析方法通则
JY/T 0586-2020 激光扫描共聚焦显微镜分析方法通则
日本工业标准调查会关于扫描显微镜的标准
JIS K0147-2-2017 表面化学分析. 词汇. 第2部分: 扫描探针显微镜用术语
JIS K3850-1-2006 空中纤维分子的测定.第1部分:光学显微镜法和扫描电子显微镜法
JIS K3850-1-2000 空气中纤维粒子的测量方法.第1部分:光学显微镜法和扫描电子显微镜法
关于扫描显微镜的标准
NBN EN ISO 9220-1995 金属保护层．保护层厚度的测定：使用电子扫描显微镜（ISO 9220-1988）
行业标准-商品检验关于扫描显微镜的标准
SN/T 4388-2015 皮革鉴定 扫描电镜和光学显微镜法
英国标准学会关于扫描显微镜的标准
BS ISO 11775-2015 表面化学分析. 扫描探针显微镜. 普通悬臂弹簧常数的测定
BS ISO 11775-2015 表面化学分析. 扫描探针显微镜. 普通悬臂弹簧常数的测定
BS ISO 18115-2-2013 表面化学分析. 词汇. 扫描探针显微镜用术语
BS ISO 27911-2011 表面化学分析.扫描探针显微镜.近场光学显微镜横向分辨率的定义和校准
BS ISO 28600-2011 表面化学分析.扫描探针显微镜的数据传送格式
BS ISO 28600-2011 表面化学分析.扫描探针显微镜的数据传送格式
BS ISO 18115-2-2010 表面化学分析.词汇表.扫描-探针显微镜检查中应用的术语
国家计量技术规范关于扫描显微镜的标准
JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范
法国标准化协会关于扫描显微镜的标准
NF X21-069-2-2010 表面化学分析.词汇.第2部分:扫描探针显微镜用术语.
韩国标准关于扫描显微镜的标准
KS D 2714-2006 扫描探针显微镜.横向剪切力的测量方法
KS D 2714-2006 扫描探针显微镜.横向剪切力的测量方法
德国标准化学会关于扫描显微镜的标准
DIN EN ISO 9220-1995 金属镀层.镀层厚度测量.电子扫描显微镜法 (ISO 9220:1988); 德文版本 EN ISO 9220:1994
