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本专题涉及化学气相沉积仪的标准有24条。
国际标准分类中，化学气相沉积仪涉及到冶金设备、半导体材料、玻璃、光纤通信、珠宝、电子电信设备用机电元件、土质、土壤学、表面处理和镀涂。
在中国标准分类中，化学气相沉积仪涉及到炼焦、烧结设备、、石英玻璃、其他非金属矿、其他生产设备、土壤环境质量分析方法、材料防护。
工业和信息化部，关于化学气相沉积仪的标准
YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉
JC/T 2392.2-2018 石英玻璃碇 第2部分：氢氧焰化学气相沉积法
中国团体标准，关于化学气相沉积仪的标准
T/CNIA 0011-2019 气相沉积法碳化硅涂层
T/QGCML 892-2023 等离子体化学气相沉积光纤预制棒制备设备
T/ZJATA 0017-2023 制备碳化硅半导体材料用化学气相沉积法(CVD)外延设备
SAE - SAE International，关于化学气相沉积仪的标准
SAE AMS2444-1992 涂层 氮化钛物理气相沉积
SAE AMS03-28/3A-2017 金属的物理气相沉积：用于表面保护的氮化钛的物理气相沉积
SAE AMS03-28/3-2015 金属的物理气相沉积：用于表面保护的氮化钛的物理气相沉积
美国机动车工程师协会，关于化学气相沉积仪的标准
SAE AMS2444A-2019 涂层，氮化钛物理气相沉积
SAE AMS03/28PT3-2015 金属的物理气相沉积：用于表面保护的氮化钛的物理气相沉积
SAE AMS03/28PT3A-2017 金属的物理气相沉积：用于表面保护的氮化钛的物理气相沉积
行业标准-建材，关于化学气相沉积仪的标准
JC/T 2243-2014 等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
行业标准-地质，关于化学气相沉积仪的标准
DZ/T 0294-2016 化学气相沉积法合成无色单晶钻石 筛查和鉴定
行业标准-电子，关于化学气相沉积仪的标准
SJ 20984-2008 化学气相淀积(CVD)设备通用规范
SJ/T 10311-1992 低压化学气相淀积设备通用技术条件
行业标准-环保，关于化学气相沉积仪的标准
HJ 703-2014 土壤和沉积物 酚类化合物的测定 气相色谱法
国际标准化组织，关于化学气相沉积仪的标准
ISO 23363:2020 电沉积涂层和相关表面处理.化学镀Ni-P-陶瓷复合涂层
法国标准化协会，关于化学气相沉积仪的标准
XP T90-250:2006 水质 沉积物中选定的有机锡化合物的测定 气相色谱法
美国材料与试验协会，关于化学气相沉积仪的标准
ASTM B767-88(2006) 用重量分析法和其它化学分析法测定电沉积涂层及相关涂层单位面积的质量
ASTM B767-88(1994) 用重量分析法和其它化学分析法测定电沉积涂层及相关涂层单位面积的质量
ASTM B767-88(2001) 用重量分析法和其它化学分析法测定电沉积涂层及相关涂层单位面积的质量
ASTM B767-88(2016) 用重量分析法和其它化学分析法测定电沉积涂层及相关涂层单位面积的质量
ASTM B767-88(2021) 用重量分析和其他化学分析程序测定电沉积和相关涂层单位面积质量的标准指南
国家计量技术规范，关于化学气相沉积仪的标准
JJF 1953-2021 硫化学发光检测器气相色谱仪校准规范
