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本专题涉及能谱x射线的标准有24条。
国际标准分类中，能谱x射线涉及到分析化学、无损检测、光学和光学测量、电学、磁学、电和磁的测量、电子元器件综合。
在中国标准分类中，能谱x射线涉及到基础标准与通用方法、化学、质谱仪、液谱仪、能谱仪及其联用装置、电子光学与其他物理光学仪器、综合测试系统、标准化、质量管理。
德国标准化学会，关于能谱x射线的标准
DIN ISO 16129:2020-11 表面化学分析 X射线光电子能谱 X射线光电子能谱仪日常性能评估程序
DIN ISO 16129:2020 表面化学分析. X射线光电子能谱-评估X射线光电子能谱仪的日常性能的程序(ISO 16129-2018); 英文文本
国际标准化组织，关于能谱x射线的标准
ISO 19830:2015 表面化学分析. 电子能谱. X射线光电子能谱峰拟合的最低报告要求
ISO 16129:2018 表面化学分析 - X射线光电子能谱 - 评估X射线光电子能谱仪日常性能的方法
ISO 16129:2012 表面化学分析.X射线光电子能光谱学.X射线光电子能谱仪日常性能评估规程
ISO/TR 19319:2003 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.分析员对横向分辨率、分析区域和样品区域的目视检测
ISO/DIS 18118:2023 表面化学分析 俄歇电子能谱和 X 射线光电子能谱 使用实验确定的相对灵敏度因子进行均质材料定量分析的指南
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于能谱x射线的标准
GB/T 41073-2021 表面化学分析 电子能谱 X射线光电子能谱峰拟合报告的基本要求
英国标准学会，关于能谱x射线的标准
BS ISO 19830:2015 表面化学分析. 电子能谱. X射线光电子能谱峰拟合的最低报告要求
BS ISO 16129:2018 跟踪更改 表面化学分析 X射线光电子能谱 X 射线光电子能谱仪日常性能评估程序
BS ISO 16129:2012 表面化学分析.X射线光电子能光谱学.X射线光电子能谱仪日常性能评估规程
BS ISO 20903:2019 跟踪更改 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 用于确定峰值强度的方法和报告结果时所需的信息
美国材料与试验协会，关于能谱x射线的标准
ASTM E996-10(2018) 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱中数据报告的标准实施规程
ASTM E996-19 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱中数据报告的标准实施规程
ASTM E995-11 在俄歇电子能谱和X射线光电子能谱中应用背景消除技术的标准指南
国家质检总局，关于能谱x射线的标准
GB/T 28632-2012 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.横向分辨率测定
GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
GB/T 28893-2012 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.测定峰强度的方法和报告结果所需的信息
GB/T 29556-2013 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定
GB/T 30702-2014 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 实验测定的相对灵敏度因子在均匀材料定量分析中的使用指南
行业标准-电子，关于能谱x射线的标准
SJ/T 10458-1993 俄歇电子能谱术和X射线光电子能谱术的样品处理标准导则
韩国科技标准局，关于能谱x射线的标准
KS D ISO 19319-2005(2020) 表面化学分析－俄歇电子能谱和X射线光电子能谱－分析仪横向分辨率、分析面积和样品面积的测定
KS D ISO 19319:2005 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.分析员对横向分辨率、分析区域和样品区域的目视检测
KS D ISO 18118-2005(2020) 表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱均匀材料定量分析用实验测定的相对灵敏度因子的使用指南
