本专题涉及衬底片的标准有12条。
国际标准分类中，衬底片涉及到金属材料试验、半导体材料、绝缘流体。
在中国标准分类中，衬底片涉及到金属物理性能试验方法、化合物半导体材料、半金属及半导体材料分析方法、元素半导体材料、电子技术专用材料、。
国家质检总局，关于衬底片的标准
GB/T 41751-2022 氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法
GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法
GB/T 32188-2015 氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法
GB/T 31353-2014 蓝宝石衬底片弯曲度测试方法
GB/T 31352-2014 蓝宝石衬底片翘曲度测试方法
GB/T 30861-2014 太阳能电池用锗衬底片
GB/T 30857-2014 蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
GB/T 13843-1992 蓝宝石单晶抛光衬底片
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于衬底片的标准
GB/T 37053-2018 氮化镓外延片及衬底片通用规范
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会，关于衬底片的标准
GB/T 34504-2017 蓝宝石抛光衬底片表面残留金属元素测量方法
广东省质量技术监督局，关于衬底片的标准
DB44/T 1328-2014 蓝宝石图形化衬底片测试技术规范
行业标准-电子，关于衬底片的标准
SJ/T 11396-2009 氮化镓基发光二极管蓝宝石衬底片
