本专题涉及x射线光电子的标准有118条。
国际标准分类中，x射线光电子涉及到分析化学、光学和光学测量、电学、磁学、电和磁的测量、无损检测、电子元器件综合、医疗设备、表面处理和镀涂、金属的腐蚀、长度和角度测量、有色金属、物理学、化学。
在中国标准分类中，x射线光电子涉及到基础标准与通用方法、质谱仪、液谱仪、能谱仪及其联用装置、电子光学与其他物理光学仪器、化学、电子测量与仪器综合、光学测试仪器、光学计量仪器、标准化、质量管理、物理学与力学、电化学、热化学、光学式分析仪器、综合测试系统、贵金属及其合金。
德国标准化学会，关于x射线光电子的标准
DIN ISO 16129:2020-11 表面化学分析 X射线光电子能谱 X射线光电子能谱仪日常性能评估程序
DIN ISO 16129:2020 表面化学分析. X射线光电子能谱-评估X射线光电子能谱仪的日常性能的程序(ISO 16129-2018); 英文文本
DIN ISO 15472:2020 表面化学分析 X 射线光电子能谱仪 能标校准（ISO 15472:2010）；英文文本
国际标准化组织，关于x射线光电子的标准
ISO 16129:2012 表面化学分析.X射线光电子能光谱学.X射线光电子能谱仪日常性能评估规程
ISO 16129:2018 表面化学分析 - X射线光电子能谱 - 评估X射线光电子能谱仪日常性能的方法
ISO 10810:2019 表面化学分析 - X射线光电子能谱分析指南
ISO 10810:2010 表面化学分析.X射线光电子能谱学.分析导则
ISO 18516:2006 表面化学分析.俄歇电子光谱法和X射线光电子光谱法.横向分辨率测定
ISO/TR 18392:2005 表面化学分析.X射线光电子光谱学.背景测定程序
ISO/CD TR 18392:2023 表面化学分析 X 射线光电子能谱 确定背景的程序
ISO 14701:2018 表面化学分析 - X射线光电子能谱 - 氧化硅厚度的测量
ISO 14701:2011 表面化学分析.X射线光电子能谱.二氧化硅厚度的测量
ISO 13424:2013 表面化学分析——X射线光电子能谱；薄膜分析结果的报告
ISO 15470:2017 表面化学分析. X射线光电子能谱. 选择仪器性能参数说明
ISO 16243:2011 表面化学分析.X射线光电子能谱术(XPS)的记录和报告数据
ISO 19830:2015 表面化学分析. 电子能谱. X射线光电子能谱峰拟合的最低报告要求
ISO 24237:2005 表面化学分析.X射线光电子光谱法.强度的可重复性和稳定性
ISO 21270:2004 表面化学分析 X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪.强度标的线性
ISO 18118:2004 表面化学分析.俄歇电子光谱法和X射线光电子光谱法.同质材料定量分析用实验室测定相对敏感性因子的使用指南
ISO 18118:2015 表面化学分析.俄歇电子光谱法和X射线光电子光谱法.同质材料定量分析用实验室测定相对敏感性因子的使用指南
ISO/CD 5861 表面化学分析 X射线光电子能谱 石英晶体单色Al Ka XPS仪器强度校准方法
ISO/DIS 5861:2023 表面化学分析 X射线光电子能谱 石英晶体单色 Al Kα XPS 仪器强度校准方法
ISO 19668:2017 表面化学分析.X射线光电子能谱学.均匀材料中元素检测极限的估算和报告
ISO 20903:2019 表面化学分析 - 俄歇电子光谱和X射线光电子能谱 - 用于确定峰值强度的方法和报告结果时所需的信息
ISO 20903:2011 表面化学分析.俄歇电子能普和X射线光电子光谱.通报结果所需峰值强度和信息的测定方法
ISO 18554:2016 表面化学分析. 电子光谱. 采用X射线光电子能谱分析法对材料进行分析的X射线的意外降解的识别, 评估和修正程序
ISO/TR 19319:2003 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.分析员对横向分辨率、分析区域和样品区域的目视检测
ISO 22581:2021 表面化学分析X射线光电子能谱测量扫描的近实时信息含碳化合物表面污染的识别和校正规则
英国标准学会，关于x射线光电子的标准
BS ISO 16129:2012 表面化学分析.X射线光电子能光谱学.X射线光电子能谱仪日常性能评估规程
BS ISO 16129:2018 跟踪更改 表面化学分析 X射线光电子能谱 X 射线光电子能谱仪日常性能评估程序
BS ISO 10810:2010 表面化学分析.X射线光电子能谱法.分析指南
BS ISO 18516:2006 表面化学分析.俄歇电子光谱法和X射线光电子光谱法.横向分辨率测定
BS ISO 15472:2010 表面化学分析.X射线光电子分光计.能量等级的校准
BS ISO 10810:2019 跟踪更改 表面化学分析 X射线光电子能谱 分析指南
BS ISO 14701:2011 表面化学分析.X射线光电子能谱学.二氧化硅厚度测量
BS ISO 16243:2011 表面化学分析.X射线光电子能谱术(XPS)的记录和报告数据
BS ISO 19830:2015 表面化学分析. 电子能谱. X射线光电子能谱峰拟合的最低报告要求
BS ISO 21270:2005 表面化学分析.X射线光电子和俄歇电子光谱仪.强度标的线性度
BS ISO 14701:2018 跟踪更改 表面化学分析 X射线光电子能谱 氧化硅厚度的测量
BS ISO 24237:2005 表面化学分析.X射线光电子光谱学.强度标的可重复性和稳定性
BS ISO 21270:2004 表面化学分析 X 射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪 强度尺度的线性
BS ISO 19668:2017 表面化学分析 X射线光电子能谱 均质材料中元素检测限的估计和报告
BS ISO 18118:2005 表面化学分析.俄歇电子光谱法和X射线光电子光谱法.同质材料定量分析用实验室测定相对敏感性系数的使用指南
20/30423741 DC BS ISO 19318 表面化学分析 X射线光电子能谱 报告用于电荷控制和电荷校正的方法
BS ISO 19318:2021 跟踪更改 表面化学分析 X射线光电子能谱 报告用于电荷控制和电荷校正的方法
BS ISO 18554:2016 表面化学分析. 电子光谱. 采用X射线光电子能谱分析法对材料进行分析的X射线的意外降解的识别, 评估和修正程序
IEC 62607-6-21:2022 纳米制造 关键控制特性 第6-21部分：石墨烯基材料 元素组成、C/O比：X射线光电子能谱
BS ISO 20903:2019 跟踪更改 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 用于确定峰值强度的方法和报告结果时所需的信息
国家质检总局，关于x射线光电子的标准
GB/T 25184-2010 X射线光电子能谱仪鉴定方法
GB/T 19500-2004 X射线光电子能谱分析方法通则
GB/T 30704-2014 表面化学分析 X射线光电子能谱 分析指南
GB/Z 32490-2016 表面化学分析 X射线光电子能谱 确定本底的程序
GB/T 22571-2008 表面化学分析.X射线光电子能谱仪.能量标尺的校准
GB/T 28632-2012 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.横向分辨率测定
GB/T 25188-2010 硅晶片表面超薄氧化硅层厚度的测量 X射线光电子能谱法
GB/T 28892-2012 表面化学分析.X射线光电子能谱.选择仪器性能参数的表述
GB/T 28633-2012 表面化学分析.X射线光电子能谱.强度标的重复性和一致性
GB/T 21006-2007 表面化学分析 X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪 强度标的线性
GB/T 25185-2010 表面化学分析.X射线光电子能谱.荷电控制和荷电校正方法的报告
GB/T 31470-2015 俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则
GB/T 28893-2012 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.测定峰强度的方法和报告结果所需的信息
GB/T 29556-2013 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定
法国标准化协会，关于x射线光电子的标准
NF X21-061:2008 表面化学分析.螺旋电子光谱法和X射线光电子光谱法.横向分辨率测定
NF X21-071:2011 表面化学分析.X射线光电子能谱法.分析用导则
NF X21-073*NF ISO 16243:2012 表面化学分析.X射线光电子能谱术(XPS)的记录和报告数据
NF ISO 16243:2012 表面化学分析 X 射线光电子能谱(XPS)中的数据记录和报告
NF X21-058:2006 表面化学分析.俄歇电子能谱学和X射线光电子光谱法.测定峰强度使用的方法和报告结果时需要的信息
美国材料与试验协会，关于x射线光电子的标准
ASTM E995-16 俄歇电子光谱和X射线光电子能谱背景减法技术标准指南
ASTM E996-04 俄歇电子光谱仪和X射线光电子能谱的报告数据的标准规程
ASTM E996-10 俄歇电子光谱仪和X射线光电子能谱的报告数据的标准规程
ASTM E2735-14(2020) 用于选择X射线光电子能谱所需校准的标准指南
ASTM E2108-16 X射线光电子能谱仪的电子结合能量标尺的标准实践
ASTM E902-94(1999) 检查X射线光电子能谱仪工作特性的标准实施规程
ASTM E902-05 检查X射线光电子光谱仪的操作特性的标准实施规程
ASTM E2735-14 选择X射线光电子光谱40;XPS41试验所需校准的标准指南
ASTM E2735-13 X射线光电子光谱法 (XPS) 试验所需校准选择的标准指南
ASTM E996-10(2018) 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱中数据报告的标准实施规程
ASTM E996-19 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱中数据报告的标准实施规程
ASTM E1523-03 X射线光电子谱测定中电荷控制和电荷参照技术标准指南
ASTM E2108-10 用X射线光电子分光计测定电子能量捆绑刻度的标准实施规程
ASTM E1523-97 X射线光电子能谱法中电荷控制和电荷参考技术的标准指南
ASTM E1523-09 X射线光电子谱测定中电荷控制和电荷参照技术的标准指南
ASTM E1523-15 X射线光电子能谱法中电荷控制和电荷参考技术的标准指南
ASTM E996-94(1999) 俄歇电子能谱分析和X射线光电子光谱分析数据报告的标准规程
ASTM E2108-00 X射线光电子分光仪的电子结合能刻度表的校准的标准操作规程
ASTM E995-11 在俄歇电子能谱和X射线光电子能谱中应用背景消除技术的标准指南
ASTM E1217-11 用X射线光电子光谱仪和俄歇电子光谱仪测定影响检测信号样品面积的标准操作规程
ASTM E1217-00 用X射线光电子光谱仪和俄歇电子光谱仪测定影响检测信号的样品面积的标准实施规范
ASTM E1217-05 用X射线光电子光谱仪和俄歇电子光谱仪测定影响检测信号的样品面积的标准实施规范
ASTM E1217-11(2019) 用于确定在俄歇电子能谱仪和一些X射线光电子能谱仪中检测到的信号的样品区域的标准实践
行业标准-电子，关于x射线光电子的标准
SJ/T 10714-1996 检查X射线光电子能谱仪工作特性的标准方法
SJ/T 10458-1993 俄歇电子能谱术和X射线光电子能谱术的样品处理标准导则
韩国科技标准局，关于x射线光电子的标准
KS D ISO 15472-2003(2018) 表面化学分析-X射线光电子分光器-能量刻度矫正
KS D ISO 15470-2005(2020) 表面化学分析X射线光电子能谱仪部分性能参数说明
KS D ISO 19318-2005(2020) 表面化学分析X射线光电子能谱电荷控制和电荷校正方法报告
KS D ISO 21270:2005 表面化学分析.X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪.强度标的线性
KS D ISO 21270-2005(2020) 表面化学分析X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪强度标度的线性
KS D ISO 18118:2005 表面化学分析.俄歇电子光谱法和X射线光电子光谱法.同质材料定量分析用实验室测定相对敏感性因子的使用指南
KS D ISO 19319-2005(2020) 表面化学分析－俄歇电子能谱和X射线光电子能谱－分析仪横向分辨率、分析面积和样品面积的测定
KS D ISO 19319:2005 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.分析员对横向分辨率、分析区域和样品区域的目视检测
KS D ISO 18118-2005(2020) 表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱均匀材料定量分析用实验测定的相对灵敏度因子的使用指南
日本工业标准调查会，关于x射线光电子的标准
JIS K 0145:2002 表面化学分析.X射线光电子分光计.能量刻度的校准
JIS T 0306:2002 用X射线光电子光谱法分析金属生物材料形成的无源膜的状态
JIS K 0152:2014 表面化学分析. X射线光电子能谱分析. 强度标的重复性和一致性
JIS K 0167:2011 表面化学分析.俄歇电子光谱和X射线光电子能谱学.匀质材料定量分析用实验室测定相对敏感因子的使用指南
澳大利亚标准协会，关于x射线光电子的标准
AS ISO 15472:2006 表面化学分析．X射线光电子光谱法．能量标度的校准
AS ISO 15470:2006 表面化学分析．X射线光电子光谱法．选定仪器性能参数的描述
AS ISO 24237:2006 表面化学分析．X射线光电子光谱学．强度标的可重复性和恒定性
AS ISO 19318:2006 表面化学分析．X射线光电子光谱学．电荷控制和电荷调整用报告法
AS ISO 19319:2006 表面化学分析．Augur电子能谱法和X射线光电子光谱法．分析员对横向分辨率；分析区域和样品区域的目视检测
AS ISO 18118:2006 表面化学分析．俄歇电子能谱法和X射线光电子光谱法．均质材料定量分析中实验测定的相对灵敏系数使用指南
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会，关于x射线光电子的标准
GB/T 22571-2017 表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准
GB/T 33502-2017 表面化学分析 X射线光电子能谱（XPS）数据记录与报告的规范要求
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于x射线光电子的标准
GB/T 36401-2018 表面化学分析 X射线光电子能谱 薄膜分析结果的报告
GB/T 41073-2021 表面化学分析 电子能谱 X射线光电子能谱峰拟合报告的基本要求
行业标准-有色金属，关于x射线光电子的标准
YS/T 644-2007 铂钌合金薄膜测试方法 X射线光电子能谱法 测定合金态铂及合金态钌含量
RU-GOST R，关于x射线光电子的标准
GOST R ISO 16243-2016 确保测量一致性的国家系统. 表面化学分析. X射线光电子能谱 (XPS) 的记录和报告数据
国际电工委员会，关于x射线光电子的标准
IEC TS 62607-6-21:2022 纳米制造.关键控制特性.第6-21部分:石墨烯基材料.元素组成 C/O比:X射线光电子能谱
