本专题涉及光学显微镜与扫描电子显微镜的标准有274条。
国际标准分类中，光学显微镜与扫描电子显微镜涉及到光学设备、词汇、长度和角度测量、空气质量、光学和光学测量、分析化学、教育、电子显示器件、有色金属、光电子学、激光设备、表面处理和镀涂、建筑材料、医疗设备、犯罪行为防范、电子元器件组件、电子元器件综合、涂料和清漆、钢铁产品、摄影技术、医学科学和保健装置综合、陶瓷、技术制图、半导体分立器件、集成电路、微电子学、物理学、化学、涂料配料、纺织纤维。
在中国标准分类中，光学显微镜与扫描电子显微镜涉及到电子光学与其他物理光学仪器、技术管理、放大镜与显微镜、基础标准与通用方法、记录仪器及光线示波器、光学设备、电磁计量、化学计量、检验专用设备、教学专用仪器、教育、学位、学衔、石油地质勘探、石油勘探、开发与集输工程综合、、光电子器件综合、犯罪鉴定技术、材料防护、油页岩、化学、混凝土、集料、灰浆、砂浆、公共医疗设备、电子元件综合、温度与压力仪表、钢铁与铁合金分析方法、光学计量、特种陶瓷、一般与显微外科器械、电化学、热化学、光学式分析仪器、大气环境有毒害物质分析方法、化妆品、半导体分立器件综合、物理学与力学、工业防尘防毒技术、油、气处理设备。
国际标准化组织，关于光学显微镜与扫描电子显微镜的标准
ISO/TS 21383:2021 微束分析.扫描电子显微镜.定量测量用扫描电子显微镜的鉴定
ISO 8036:2006 光学和光子学.显微镜.光学显微镜浸液
ISO 22493:2008 微光束分析.扫描电子显微镜方法.词汇
ISO 27911:2011 表面化学分析.扫描探针显微镜.近场光学显微镜横向分辨率的定义与校准
ISO 16700:2004 微电子束分析.扫描电子显微镜.校准图像放大指南
ISO 16700:2016 微电子束分析.扫描电子显微镜.校准图像放大指南
ISO/TS 24597:2011 微光束分析.扫描电子显微镜检查法.图像清晰度评价法
ISO 11884-2:2007 光学和光子学.立体显微镜的最低要求.第2部分:高性能显微镜
ISO 11884-1:2006 光学和光子学.体视显微镜的最低要求.第1部分:通用体视显微镜
ISO/WD TR 23683:2023 表面化学分析 扫描探针显微镜 使用电扫描探针显微镜对半导体器件中载流子浓度进行实验量化的指南
ISO 9220:1988 金属覆盖层 镀层厚度测量 扫描电子显微镜法
ISO 9220:2022 金属涂层.涂层厚度的测量.扫描电子显微镜法
ISO 21466:2019 微束分析.扫描电子显微镜.用CD-SEM评定临界尺寸的方法
ISO 15932:2013 微光束分析.分析电子显微镜.词汇
ISO 21222:2020 表面化学分析.扫描探针显微镜.用原子力显微镜和两点JKR法测定柔顺材料弹性模量的程序
ISO/TR 14880-5:2010 光学与光子学.显微镜头列阵.第5部分:测试指南
ISO 19012-2:2009 光学和光子学.显微镜物镜名称.第2部分:色差修正
ISO 11039:2012 表面化学分析.扫描探针显微镜.漂移率的测定标准
ISO 18115-2:2021 表面化学分析词汇第2部分:扫描探针显微镜术语
ISO 19749:2021 纳米技术.用扫描电子显微镜测量颗粒尺寸和形状分布
ISO 28600:2011 表面化学分析.扫描探针显微镜检查用数据传送格式
ISO 19012-1:2007 光学和光子学.显微镜物镜标号.第1部分:视野/平面图平整度
ISO 14966:2019 环境空气.无机纤维颗粒数值浓度的测定.扫描电子显微镜法
ISO 11775:2015 表面化学分析. 扫描探针显微镜. 普通悬臂弹簧常数的测定
ISO 25498:2010 微光束分析.解析电子显微测定法.透射式电子显微镜对选定区域进行电子衍射分析
ISO 25498:2018 微光束分析.解析电子显微测定法.透射式电子显微镜对选定区域进行电子衍射分析
ISO 10936-1:2017 光学和光子学.手术显微镜.第1部分:要求和测试方法
ISO 14966:2002 环境空气.无机纤维颗粒的数值浓度的测定.扫描电子显微镜检查法
ISO 14880-1:2001/Cor 2:2005 光学和光子学.显微物镜系列.第1部分:词汇.技术勘误2
ISO 14880-1:2016 光学和光子学.显微物镜系列.第1部分:词汇和常规属性
ISO 14880-2:2006 光学和光子学.显微物镜系列.第2部分:波像差的试验办法
ISO 18115-2:2010 表面化学分析.词汇.第2部分:扫描探针显微镜检查中使用的术语
ISO 11952:2019 表面化学分析.扫描探针显微镜.用SPM测定几何量:测量系统的校准
ISO 11952:2014 表面化学分析. 扫描探针显微镜. 使用SPM测定几何量:测量系统校准
ISO 14966:2002/cor 1:2007 环境空气.无机纤维颗粒数值浓度的测定.扫描电子显微镜法.技术勘误1
ISO 14880-4:2006 光学和光子学.显微物镜系列.第4部分:几何学特征的试验办法
ISO 18115-2:2013 表面化学分析.词汇表.第2部分:扫描-探针显微镜检查中应用的术语
ISO 14880-3:2006 光学和光子学.显微物镜系列.第3部分:不同于波像差的光学特征的试验办法
ISO 16000-27:2014 室内空气. 第27部分: 采用SEM(扫描电子显微镜检查法) (直接方法)对表面纤维落尘的测定
ISO 17751-2:2014 纺织品 羊绒、羊毛、其他特种动物纤维及其混纺品的定量分析 第2部分：扫描电子显微镜法
ISO 17751-2:2016 纺织品. 羊绒, 羊毛, 其他特种动物纤维及其混纺织物的定量分析. 第2部分: 扫描电子显微镜法
ISO 24639:2022 微束分析.分析电子显微镜.用电子能量损失光谱法进行元素分析的能量标度校准程序
日本工业标准调查会，关于光学显微镜与扫描电子显微镜的标准
JIS K 0132:1997 扫描电子显微镜总则
JIS K 3850-1:2006 空中纤维分子的测定.第1部分:光学显微镜法和扫描电子显微镜法
JIS K 3850-1:2000 空气中纤维粒子的测量方法.第1部分:光学显微镜法和扫描电子显微镜法
JIS K 0149-1:2008 微光束分析.扫描电子显微镜法.校准图像放大指南
JIS K 0147-2:2017 表面化学分析. 词汇. 第2部分: 扫描探针显微镜用术语
JIS R 1633:1998 扫描电子显微镜观察用精细陶瓷和陶瓷粉末的样品制备方法
韩国科技标准局，关于光学显微镜与扫描电子显微镜的标准
KS D ISO 22493:2012 微光束分析.扫描电子显微镜.术语
KS D ISO 22493-2012(2017) 微束分析扫描电子显微镜词汇
KS D ISO 22493:2022 微束分析.扫描电子显微镜.词汇
KS M 0044-1999 扫描电子显微镜的一般规则
KS I 0051-1999(2019) 扫描电子显微镜的一般规则
KS I 0051-1999 扫描电子显微镜试验方法通则
KS D ISO 16700:2013 微电子束分析.扫描电子显微镜.校准图像放大指南
KS D 2713-2016 NSOM（近场扫描光学显微镜）空间分辨率的评估
KS D 2713-2016(2021) NSOM（近场扫描光学显微镜）空间分辨率的评估
KS B ISO 11884-2-2011(2016) 光学和光子学立体显微镜最低要求第2部分:高性能显微镜
KS B ISO 11884-2-2011(2021) 光学和光子学立体显微镜最低要求第2部分:高性能显微镜
KS D ISO 16700-2013(2018) 微束分析－扫描电子显微镜－图像放大率校准指南
KS B ISO 11884-2:2011 光学和光子学.立体显微镜的最低要求.第2部分:高性能显微镜
KS P ISO 10936-2:2020 光学和光子学 - 操作显微镜 - 第2部分:眼部手术中使用的显微镜的轻微危险
KS D ISO 9220:2009 金属覆盖层.镀层厚度测量.扫描电子显微镜法
KS D ISO 9220-2009(2022) 金属镀层镀层厚度的测量扫描电子显微镜法
KS D ISO 9220-2009(2017) 金属镀层镀层厚度的测量扫描电子显微镜法
KS B ISO 8040-2006(2021) 光学和光子学.显微镜.管滑动和管槽连接的尺寸
KS B ISO 8478-2006(2016) 光学和光子学显微镜管滑动和管槽连接的尺寸
KS B ISO 8478-2006(2021) 光学和光子学.显微镜.管滑动和管槽连接的尺寸
KS B ISO 8040-2006(2016) 光学和光子学显微镜管滑动和管槽连接的尺寸
KS B ISO 19012-1-2016(2021) 光学和光子学显微镜物镜的名称第1部分:视野/平面的平面度
KS B ISO 14880-2:2013 光学和光子学.显微物镜系列.第2部分:波像差的试验办法
KS B ISO 14880-2:2008 光学和光子学.显微物镜系列.第2部分:波像差的试验办法
KS B ISO 9345-1-2016(2021) 光学和光学仪器显微镜.与机械基准面有关的成像距离.第1部分:管长度160mm
KS K ISO 17751-2:2019 纺织品 - 羊绒 羊毛 其他特种动物纤维及其混合物的定量分析 - 第2部分:扫描电子显微镜法
KS B ISO 9345-2-2016(2021) 光学和光学仪器显微镜:与机械基准面有关的成像距离第2部分:无限校正光学系统
行业标准-商品检验，关于光学显微镜与扫描电子显微镜的标准
SN/T 4388-2015 皮革鉴定 扫描电镜和光学显微镜法
SN/T 2649.1-2010 进出口化妆品中石棉的测定 第1部分：X射线衍射-扫描电子显微镜法
美国材料与试验协会，关于光学显微镜与扫描电子显微镜的标准
ASTM E2382-04 扫描隧道显微镜学和原子力显微镜学中扫描器和与触点相关物品的指南
ASTM E2382-04(2012) 扫描隧道显微镜学和原子力显微镜学中扫描器和与触点相关物品的标准指南
ASTM E766-98(2003) 校准扫描电子显微镜的放大倍数
ASTM E766-98 校准扫描电子显微镜的放大倍数
ASTM E2382-04(2020) 扫描隧道显微镜和原子力显微镜中的扫描仪和尖端相关人工标准指南
ASTM E986-97 扫描电子显微镜光束尺寸表征的标准实践
ASTM E986-04(2017) 扫描电子显微镜光束尺寸表征的标准实践
ASTM E766-14 扫描电子显微镜放大倍率校准的标准方法
ASTM E986-04 扫描电子显微镜射束尺寸特征描述标准实施规程
ASTM E986-04(2010) 扫描电子显微镜射束尺寸特征描述标准实施规程
ASTM E766-98(2008)e1 扫描电子显微镜的放大系数的标准校正规范
ASTM C1723-16(2022) 用扫描电子显微镜检查硬化混凝土的标准指南
ASTM C1723-10 用扫描电子显微镜检验硬化混凝土的标准指南
ASTM C1723-16 用扫描电子显微镜检查硬化混凝土的标准指南
ASTM E2090-00 利用光电子显微镜和扫描电子显微镜对清洁室擦刷工具释放粒子和纤维的尺寸差异计数的标准试验方法
ASTM E2090-12 利用光电子显微镜和扫描电子显微镜对清洁室擦刷工具释放粒子和纤维的尺寸差异计数的标准试验方法
ASTM E766-14(2019) 校准扫描电子显微镜的放大倍数的标准实施规程
ASTM E766-14e1 用于校准扫描电子显微镜的放大倍数的标准实施规程
ASTM B748-90(2006) 用扫描电子显微镜测量横截面测定金属涂层厚度的方法
ASTM B748-90(1997) 用扫描电子显微镜测量横截面测定金属涂层厚度的方法
ASTM E2809-13 在法医油漆检查中使用扫描电子显微镜/X射线光谱法的标准指南
ASTM E2142-08(2015) 用扫描电子显微镜评定和分类钢中夹杂物的标准试验方法
ASTM E2142-08 用扫描电子显微镜分级和分类铁中内含物的标准试验方法
ASTM E1588-95(2001) 用扫描电子显微镜/能量色散光谱法进行枪击残留物分析的标准指南
ASTM E1588-08 用扫描电子显微镜/能量色散光谱法进行枪击残留物分析的标准指南
ASTM E1588-10 用扫描电子显微镜/能量色散光谱法进行枪击残留物分析的标准指南
ASTM E1588-95 用扫描电子显微镜/能量色散光谱法进行枪击残留物分析的标准指南
ASTM B748-90(2010) 扫描电子显微镜测量横截面测定金属涂层厚度的标准试验方法
ASTM B748-90(2021) 用扫描电子显微镜测量横截面测量金属涂层厚度的标准试验方法
ASTM E1588-20 通过扫描电子显微镜/能量色散X射线光谱法进行枪支残留分析的标准实践
ASTM E2142-01 利用扫描电子显微镜测定钢中杂质的额定值和分级的标准试验方法
ASTM B748-90(2016) 通过用扫描电子显微镜测量横截面来测量金属涂层厚度的试验方法
ASTM B748-90(2001) 通过扫描电子显微镜测量横截面来测量金属涂层厚度的标准测试方法
ASTM E280-98(2004)e1 在法医聚合物检验中使用扫描电子显微镜/能量色散X射线光谱（SEM/EDS）的标准指南
ASTM E1588-07e1 用扫描电子显微镜法/能量色散X射线光谱测定法的射击残留物分析用标准指南
ASTM E1588-07 用扫描电子显微镜法/能量色散X射线光谱测定法的射击残留物分析用标准指南
ASTM E280-21 在法医聚合物检验中使用扫描电子显微镜/能量色散X射线光谱（SEM/EDS）的标准指南
ASTM E2809-22 在法医聚合物检验中使用扫描电子显微镜/能量色散X射线光谱（SEM/EDS）的标准指南
ASTM E2090-06 使用光学和扫描电子显微镜从洁净室刮水器释放的颗粒和纤维的尺寸分化计数的标准测试方法
ASTM E2090-12(2020) 使用光学和扫描电子显微镜从洁净室刮水器释放的颗粒和纤维的尺寸分化计数的标准测试方法
ASTM F1372-93(1999) 用于气体分布系统部件的金属表面条件扫描电子显微镜（SEM）的标准测试方法
ASTM F1372-93(2020) 用于气体分布系统部件的金属表面条件扫描电子显微镜（SEM）的标准测试方法
ASTM D605-82(1996)e1 用电子显微镜扫描测定工作环境下空气中单晶陶瓷晶须浓度的标准试验方法
ASTM D6059-96(2011) 用电子显微镜扫描测定工作环境下空气中单晶陶瓷晶须浓度的标准试验方法
ASTM F1372-93(2005) 气体分配系统组件用金属表面状态的扫描式电子显微镜(SEM)分析的标准试验方法
ASTM F1372-93(2012) 气体分配系统组件用金属表面状态的扫描式电子显微镜 (SEM) 分析的标准试验方法
ASTM E3309-21 用扫描电子显微镜/能量色散X射线光谱法（SEM/EDS）报告法医底漆枪弹残留物（pGSR）分析的标准指南
KR-KS，关于光学显微镜与扫描电子显微镜的标准
KS D ISO 22493-2022 微束分析.扫描电子显微镜.词汇
KS P ISO 10936-2-2020 光学和光子学 - 操作显微镜 - 第2部分:眼部手术中使用的显微镜的轻微危险
KS B ISO 19012-1-2016 光学和光子学显微镜物镜的命名第1部分:视场平面度
KS K ISO 17751-2-2019 纺织品 - 羊绒 羊毛 其他特种动物纤维及其混合物的定量分析 - 第2部分:扫描电子显微镜法
KS B ISO 9345-2-2016 光学和光学仪器显微镜:与机械基准面有关的成像距离第2部分:无限校正光学系统
国家计量技术规范，关于光学显微镜与扫描电子显微镜的标准
JJF 1916-2021 扫描电子显微镜校准规范
行业标准-机械，关于光学显微镜与扫描电子显微镜的标准
JB/T 6842-1993 扫描电子显微镜试验方法
JB/T 5384-1991 扫描电子显微镜.技术条件
JB/T 5480-1991 电子显微镜用光阑
国家计量检定规程，关于光学显微镜与扫描电子显微镜的标准
JJG(教委) 11-1992 扫描电子显微镜检定规程
JJG 550-1988 扫描电子显微镜试行检定规程
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会，关于光学显微镜与扫描电子显微镜的标准
GB/T 33834-2017 微束分析 扫描电子显微术 生物试样扫描电子显微镜分析方法
GB/T 36052-2018 表面化学分析 扫描探针显微镜数据传送格式
英国标准学会，关于光学显微镜与扫描电子显微镜的标准
18/30319114 DC BS ISO 20171 微束分析 扫描电子显微镜 用于扫描电子显微镜（TIFF/SEM）的标记图像文件格式
BS ISO 8036:2006 光学和光子学.显微镜.光学显微学的浸液
BS ISO 11884-2:2007 光学和光子学.立体显微镜的最低要求.高性能显微镜
BS ISO 27911:2011 表面化学分析.扫描探针显微镜.近场光学显微镜横向分辨率的定义和校准
BS ISO 11884-1:2006 光学和光子学.体视显微镜的最低要求.通用体视显微镜
BS ISO 16700:2004 微电子束分析.扫描电子显微镜.图像放大校准指南
BS ISO 21466:2019 微束分析 扫描电子显微镜 CDSEM评估关键尺寸的方法
BS EN ISO 9220:1989 金属镀层.镀层厚度测量.扫描电子显微镜法
BS EN ISO 14880-1:2005 光学和光子学.显微透镜系列.词汇
BS ISO 18115-2:2013 表面化学分析. 词汇. 扫描探针显微镜用术语
BS ISO 16700:2016 跟踪更改 微束分析 扫描电子显微镜 校准图像放大率的指南
18/30344520 DC BS ISO 21466 微束分析 扫描电子显微镜 CD-SEM 评估关键尺寸的方法
BS ISO 21222:2020 表面化学分析 扫描探针显微镜 使用原子力显微镜和两点 JKR 方法测定柔顺材料弹性模量的程序
BS ISO 28600:2011 表面化学分析.扫描探针显微镜的数据传送格式
21/30394409 DC BS ENISO 9220 金属涂层 涂层厚度的测量 扫描电子显微镜法
BS ISO 18115-2:2021 表面化学分析 词汇 扫描探针显微镜中使用的术语
BS ISO 10936-1:2002 光学和光子学 手术显微镜 要求和试验方法
BS ISO 19749:2021 纳米技术 用扫描电子显微镜测量颗粒尺寸和形状分布
BS EN ISO 9220:2022 跟踪更改 金属涂层 涂层厚度的测量 扫描电子显微镜法
19/30351707 DC BS ISO 21222 表面化学分析 扫描探针显微镜 使用原子力显微镜和两点 JKR 方法测定柔顺材料弹性模量的程序
BS EN ISO 14880-1:2016 光学和光子学.显微透镜系列.词汇和常规属性
BS EN ISO 19749:2023 纳米技术 通过扫描电子显微镜测量颗粒尺寸和形状分布
BS ISO 14966:2019 周围空气 无机纤维颗粒数值浓度的测定 扫描电子显微镜法
BS EN ISO 14880-2:2007 光学和光子学.显微物镜系列.波像差的试验办法
BS EN ISO 14880-4:2006 光学和光子学.显微透镜系列.几何学特征试验方法
BS ISO 18115-2:2010 表面化学分析.词汇表.扫描-探针显微镜检查中应用的术语
BS ISO 11775:2015 表面化学分析. 扫描探针显微镜. 普通悬臂弹簧常数的测定
BS 7012-3:1997 光学显微镜.与机械基准面相关的长度160mm的镜筒成像距离
BS ISO 25498:2010 微光束分析.解析电子显微测定法.透射式电子显微镜对选定区域进行电子衍射分析
18/30351679 DC BS ISO 19749 纳米技术 通过扫描电子显微镜测量颗粒尺寸和形状分布
BS ISO 10936-1:2017 跟踪更改 光学和光子学 手术显微镜 要求及测试方法
BS ISO 14966:2002 环境空气.无机纤维颗粒的数值浓度的测定.扫描电子显微镜检查法
18/30375050 DC BS ISO 14966 环境空气 无机纤维颗粒数值浓度的测定 扫描电子显微镜法
DD ISO/TS 10798:2011 纳米技术 使用扫描电子显微镜和能量色散 X 射线光谱分析表征单壁碳纳米管
BS CECC 00013:1985 电子元器件质量评定协调体系.基本规范:半导体小片的扫描电子显微镜检验
BS DD ISO/TS 10798:2011 毫微技术.利用扫描电子显微镜和能量色散X射线光谱法分析得出单层碳纳米管的表示特征
BS EN ISO 14880-3:2006 光学和光子学.显微镜系列.不同于波前像差的光学特征试验办法
BS ISO 11952:2019 表面化学分析 扫描探针显微镜 使用 SPM 确定几何量：测量系统的校准
12/30265696 DC BS ISO 18115-2 AMD1 表面化学分析 词汇 第 2 部分：扫描探针显微镜中使用的术语
BS EN ISO 17751-2:2016 纺织品. 羊绒, 羊毛, 其他特种动物纤维及其混纺织物的定量分析. 扫描电子显微镜法
12/30228339 DC BS ISO 16000-27 室内空气 第 27 部分：用 SEM（扫描电子显微镜）测定表面沉降的纤维粉尘（直接法）
行业标准-教育，关于光学显微镜与扫描电子显微镜的标准
JY/T 0584-2020 扫描电子显微镜分析方法通则
JY/T 010-1996 分析型扫描电子显微镜方法通则
JY/T 0586-2020 激光扫描共聚焦显微镜分析方法通则
行业标准-医药，关于光学显微镜与扫描电子显微镜的标准
YY 1296-2016 光学和光子学手术显微镜眼科用手术显微镜的光危害
行业标准-石油，关于光学显微镜与扫描电子显微镜的标准
SY/T 5162-2014 岩石样品扫描电子显微镜分析方法
SY/T 5162-1997 岩石样品扫描电子显微镜分析方法
SY 5162-2014 岩石样品扫描电子显微镜分析方法
上海市标准，关于光学显微镜与扫描电子显微镜的标准
DB31/T 297-2003 扫描电子显微镜放大倍率校准方法
国家能源局，关于光学显微镜与扫描电子显微镜的标准
SY/T 5162-2021 岩石样品扫描电子显微镜分析方法
法国标准化协会，关于光学显微镜与扫描电子显微镜的标准
NF X21-005:2006 微电子束分析.扫描电子显微镜.校准图像放大指南
XP X21-015*XP ISO/TS 24597:2011 微束分析 扫描电子显微镜 评价图像清晰度的方法
NF A91-108:1995 金属镀层.镀层厚度的测量.扫描电子显微镜法
NF A91-108*NF EN ISO 9220:2022 金属镀层 镀层厚度的测量 扫描电子显微镜法
NF X21-010:2009 微光束分析.扫描电子显微术.词汇
NF S12-023:1988 光学和光学仪器.显微镜.镜筒与镜筒滑槽间的连接尺寸
NF T16-403*NF ISO 19749:2021 纳米技术 通过扫描电子显微镜测量粒径和形状分布
NF T25-111-4:1991 碳纤维-织构和结构-第4部分：扫描电子显微镜断口法
NF X21-069-2:2010 表面化学分析.词汇.第2部分:扫描探针显微镜用术语.
NF S10-132-1:2016 光学和光子学.显微物镜系列.第1部分:词汇和一般属性
FD T16-203:2011 纳米技术 使用扫描电子显微镜和能量色散 X 射线光谱分析法表征单壁碳纳米管
NF S10-132-4*NF EN ISO 14880-4:2006 光学和光子学.显微物镜系列.第4部分:几何学特征的试验办法
NF X43-404-27*NF ISO 16000-27:2014 室内空气. 第27部分: 采用SEM (扫描电子显微镜检查法) (直接方法) 对表面纤维落尘的测定
NF G07-142-2*NF EN ISO 17751-2:2016 纺织品 羊绒、羊毛、其他特种动物纤维及其混纺的定量分析 第2部分：扫描电子显微镜法
江苏省标准，关于光学显微镜与扫描电子显微镜的标准
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