本专题涉及x射线光电子光谱仪的标准有11条。
国际标准分类中，x射线光电子光谱仪涉及到光学和光学测量、分析化学、无损检测。
在中国标准分类中，x射线光电子光谱仪涉及到光学计量仪器、化学、基础标准与通用方法、质谱仪、液谱仪、能谱仪及其联用装置、光学测试仪器。
美国材料与试验协会，关于x射线光电子光谱仪的标准
ASTM E902-05 检查X射线光电子光谱仪的操作特性的标准实施规程
ASTM E1217-11 用X射线光电子光谱仪和俄歇电子光谱仪测定影响检测信号样品面积的标准操作规程
ASTM E1217-00 用X射线光电子光谱仪和俄歇电子光谱仪测定影响检测信号的样品面积的标准实施规范
ASTM E1217-05 用X射线光电子光谱仪和俄歇电子光谱仪测定影响检测信号的样品面积的标准实施规范
ASTM E996-04 俄歇电子光谱仪和X射线光电子能谱的报告数据的标准规程
ASTM E996-10 俄歇电子光谱仪和X射线光电子能谱的报告数据的标准规程
国际标准化组织，关于x射线光电子光谱仪的标准
ISO 16129:2012 表面化学分析.X射线光电子能光谱学.X射线光电子能谱仪日常性能评估规程
ISO 16129:2018 表面化学分析 - X射线光电子能谱 - 评估X射线光电子能谱仪日常性能的方法
英国标准学会，关于x射线光电子光谱仪的标准
BS ISO 16129:2012 表面化学分析.X射线光电子能光谱学.X射线光电子能谱仪日常性能评估规程
BS ISO 16129:2018 跟踪更改 表面化学分析 X射线光电子能谱 X 射线光电子能谱仪日常性能评估程序
德国标准化学会，关于x射线光电子光谱仪的标准
DIN ISO 16129:2020-11 表面化学分析 X射线光电子能谱 X射线光电子能谱仪日常性能评估程序
