本专题涉及离子 溅射的标准有7条。
国际标准分类中,离子 溅射涉及到真空技术、泵、流体系统和通用件。
在中国标准分类中,离子 溅射涉及到泵、其他生产设备、真空技术与设备。
RU-GOST R,关于离子 溅射的标准
GOST 5.1807-1973 GIN-0.5-1M型离子溅射泵.认证产品质量要求
GOST 5.413-1970 BP-150供电的粒状冷却二极管型离子溅射泵NMDO-01-01(NORD-100).认证产品质量要求
行业标准-电子,关于离子 溅射的标准
SJ 1781-1981 溅射离子泵.试验方法
行业标准-机械,关于离子 溅射的标准
JB/T 4081-2011 真空技术 溅射离子泵
JB/T 4082-1991 溅射离子泵 技术条件
JB/T 2965-1992 溅射离子泵性能测试方法
JB/T 4081-1991 溅射离子泵 型式与基本参数





