本专题涉及三氯氢硅的标准有11条。
国际标准分类中，三氯氢硅涉及到无机化学、半导体材料、金属材料试验、废物、分析化学。
在中国标准分类中，三氯氢硅涉及到其他无机化工原料、化合物半导体材料、半金属及半导体材料分析方法、电子技术专用材料、污染控制技术规范、。
国家质检总局，关于三氯氢硅的标准
GB/T 28654-2018 工业三氯氢硅
GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅
GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法.硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
GB/T 28654-2012 工业三氯氢硅
GB 28654-2012 工业三氯氢硅
工业和信息化部，关于三氯氢硅的标准
YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
行业标准-化工，关于三氯氢硅的标准
HG/T 4683-2014 三氯氢硅泄漏的处理处置方法
云南省地方标准，关于三氯氢硅的标准
DB53/T 501-2013 多晶硅用三氯氢硅杂质元素含量测定 电感耦合等离子体质谱法
DB53/T 500-2013 多晶硅用三氯氢硅组分含量测定 气相色谱法
DB53/T 499-2013 多晶硅用三氯氢硅
