本专题涉及化学分析电子仪的标准有90条。
国际标准分类中，化学分析电子仪涉及到分析化学、长度和角度测量、耐火材料、有色金属。
在中国标准分类中，化学分析电子仪涉及到基础标准与通用方法、质谱仪、液谱仪、能谱仪及其联用装置、物性分析仪器、化学、化学助剂基础标准与通用方法、硅质耐火材料、重金属及其合金分析方法、电子技术专用材料。
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于化学分析电子仪的标准
GB/T 41064-2021 表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法
GB/T 41072-2021 表面化学分析 电子能谱 紫外光电子能谱分析指南
GB/T 29732-2021 表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准
GB/T 41073-2021 表面化学分析 电子能谱 X射线光电子能谱峰拟合报告的基本要求
国家质检总局，关于化学分析电子仪的标准
GB/Z 32494-2016 表面化学分析 俄歇电子能谱 化学信息的解析
GB/T 30702-2014 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 实验测定的相对灵敏度因子在均匀材料定量分析中的使用指南
GB/T 29731-2013 表面化学分析 高分辨俄歇电子能谱仪 元素和化学态分析用能量标校准
GB/T 29732-2013 表面化学分析 中等分辨率俄歇电子谱仪 元素分析用能量标校准
GB/T 29556-2013 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率、分析面积和分析器所能检测到的样品面积的测定
GB/T 29558-2013 表面化学分析 俄歇电子能谱 强度标的重复性和一致性
GB/T 28893-2012 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.测定峰强度的方法和报告结果所需的信息
GB/T 28632-2012 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.横向分辨率测定
GB/T 25187-2010 表面化学分析.俄歇电子能谱.选择仪器性能参数的表述
GB/T 21006-2007 表面化学分析 X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪 强度标的线性
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会，关于化学分析电子仪的标准
GB/T 32998-2016 表面化学分析 俄歇电子能谱 荷电控制与校正方法报告的规范要求
GB/T 32565-2016 表面化学分析 俄歇电子能谱（AES）数据记录与报告的规范要求
国际标准化组织，关于化学分析电子仪的标准
ISO 17109:2022 表面化学分析.深度剖面.用单层和多层薄膜在X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中测定溅射速率的方法
ISO 20903:2019 表面化学分析 - 俄歇电子光谱和X射线光电子能谱 - 用于确定峰值强度的方法和报告结果时所需的信息
ISO 17973:2016 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
ISO 15471:2016 表面化学分析.俄歇电子光谱法.选定的仪器性能参数的描述
ISO/TR 18394:2016 表面化学分析. 俄歇电子能谱学. 提取化学信息
ISO 18554:2016 表面化学分析. 电子光谱. 采用X射线光电子能谱分析法对材料进行分析的X射线的意外降解的识别, 评估和修正程序
ISO 19830:2015 表面化学分析. 电子能谱. X射线光电子能谱峰拟合的最低报告要求
ISO 13083:2015 表面化学分析. 扫描式探针显微术. 电子扫描式探针显微术 (ESPM), 例如用于二维掺杂成像等用途的SSRM和SCM, 中空间分辨率的定义和校准标准
ISO 17109:2015 表面化学分析. 深度剖析. 使用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱, 俄歇电子能谱以及二次离子质谱法溅射深度剖析中溅射率的方法
ISO 18118:2015 表面化学分析.俄歇电子光谱法和X射线光电子光谱法.同质材料定量分析用实验室测定相对敏感性因子的使用指南
ISO 16242:2011 表面化学分析.俄歇电子能谱术(AES)的记录和报告数据
ISO 20903:2011 表面化学分析.俄歇电子能普和X射线光电子光谱.通报结果所需峰值强度和信息的测定方法
ISO 29081:2010 表面化学分析.俄歇电子能谱法.电荷控制和电荷调整用报告法
ISO 18516:2006 表面化学分析.俄歇电子光谱法和X射线光电子光谱法.横向分辨率测定
ISO/TR 18394:2006 表面化学分析.俄歇电子光谱法.化学信息的推导
ISO 20903:2006 表面化学分析.螺旋电子光谱法和X-射线光电光谱学.报告结果时测定峰强度的方法和必要信息的使用方法
ISO 24236:2005 表面化学分析.螺旋电子光谱法.强度标的重复性和持久性
ISO 21270:2004 表面化学分析 X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪.强度标的线性
ISO 15471:2004 表面化学分析.俄歇电子光谱法.选定的仪器性能参数的描述
ISO 18118:2004 表面化学分析.俄歇电子光谱法和X射线光电子光谱法.同质材料定量分析用实验室测定相对敏感性因子的使用指南
ISO/TR 19319:2003 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.分析员对横向分辨率、分析区域和样品区域的目视检测
ISO 17973:2002 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
ISO 17974:2002 表面化学分析.高分辨率螺旋电子光谱仪.元素和化学状态分析用能量标度的校准
英国标准学会，关于化学分析电子仪的标准
BS ISO 17973:2016 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
BS ISO 15471:2016 表面化学分析.俄歇电子光谱法.选定的仪器性能参数的描述
BS PD ISO/TR 18394:2016 表面化学分析.俄歇电子光谱法.化学信息的推导
BS ISO 18554:2016 表面化学分析. 电子光谱. 采用X射线光电子能谱分析法对材料进行分析的X射线的意外降解的识别, 评估和修正程序
BS ISO 19830:2015 表面化学分析. 电子能谱. X射线光电子能谱峰拟合的最低报告要求
BS ISO 17109:2015 表面化学分析. 深度剖析. 使用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱, 俄歇电子能谱以及二次离子质谱法溅射深度剖析中溅射率的方法
BS ISO 13083:2015 表面化学分析. 扫描式探针显微术. 电子扫描式探针显微术 (ESPM), 例如用于二维掺杂成像等用途的SSRM和SCM, 中空间分辨率的定义和校准标准
BS ISO 18118:2015 表面化学分析.俄歇电子光谱法和X射线光电子光谱法.同质材料定量分析用实验室测定相对敏感性系数的使用指南
BS ISO 16242:2011 表面化学分析.俄歇电子能谱术的记录和报告数据(AEC)
BS ISO 20903:2011 表面化学分析.俄歇电子能谱和X-射线光电光谱学.测定峰强度的方法和报告结果要求的信息
BS ISO 29081:2010 表面化学分析.俄歇电子能谱法.电荷控制和电荷调整用报告法
BS ISO 18516:2006 表面化学分析.俄歇电子光谱法和X射线光电子光谱法.横向分辨率测定
BS ISO 24236:2005 表面化学分析.俄歇电子光谱法.强度标的可重复性和一致性
BS ISO 21270:2005 表面化学分析.X射线光电子和俄歇电子光谱仪.强度标的线性度
BS ISO 18118:2005 表面化学分析.俄歇电子光谱法和X射线光电子光谱法.同质材料定量分析用实验室测定相对敏感性系数的使用指南
BS ISO 15471:2005 表面化学分析.俄歇电子光谱法.选定的仪器性能参数的描述
BS ISO 17973:2003 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
BS ISO 17974:2002 表面化学分析.高分辨率螺旋电子光谱仪.元素和化学状态分析用能量标度的校准
，关于化学分析电子仪的标准
KS D ISO 17973-2011(2016) 表面化学分析中分辨率俄歇电子能谱仪元素分析用能标的校准
KS D ISO 17973-2011(2021) 表面化学分析——中分辨率俄歇电子光谱仪——元素分析用能标的校准
KS D ISO 17974-2011(2021) 表面化学分析——高分辨率俄歇电子光谱仪——元素和化学状态分析用能标的校准
KS D ISO 17974-2011(2016) 表面化学分析高分辨率俄歇电子能谱仪元素和化学状态分析用能标的校准
KS D ISO 18118-2005(2020) 表面化学分析俄歇电子能谱和X射线光电子能谱均匀材料定量分析用实验测定的相对灵敏度因子的使用指南
KS D ISO 19319-2005(2020) 表面化学分析－俄歇电子能谱和X射线光电子能谱－分析仪横向分辨率、分析面积和样品面积的测定
KS D ISO 21270-2005(2020) 表面化学分析X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪强度标度的线性
KS D ISO 15471-2005(2020) 表面化学分析－俄歇电子能谱学－选定仪器性能参数的描述
法国标准化协会，关于化学分析电子仪的标准
NF X21-072-2012 表面化学分析.俄歇电子能谱术(AES)的记录和报告数据
NF X21-068-2010 表面化学分析.俄歇电子光谱法.电荷控制和校正用方法的报告
NF X21-067-2009 表面化学分析.高分辨率俄歇(Auger)电子分光计.元素及化学物质状态分析用能量标度的校准
NF X21-061-2008 表面化学分析.螺旋电子光谱法和X射线光电子光谱法.横向分辨率测定
NF B40-670-3-2007 硅酸铝耐火材料的化学分析(可选择X射线荧光法).第3部分:感应耦合等电子体和原子吸收光谱测定法
NF X21-059-2006 表面化学分析.俄歇电子光谱法.强度等级的重复性和持久性
NF X21-058-2006 表面化学分析.俄歇电子能谱学和X射线光电子光谱法.测定峰强度使用的方法和报告结果时需要的信息
NF X21-054-2006 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
韩国科技标准局，关于化学分析电子仪的标准
KS D ISO 17974:2011 表面化学分析.高分辨率螺旋电子光谱仪.元素和化学状态分析用能量标度的校准
KS D ISO 17973:2011 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
KS D ISO 18118:2005 表面化学分析.俄歇电子光谱法和X射线光电子光谱法.同质材料定量分析用实验室测定相对敏感性因子的使用指南
KS D ISO 19319:2005 表面化学分析.俄歇电子能谱和X射线光电子能谱.分析员对横向分辨率、分析区域和样品区域的目视检测
KS D ISO 15471:2005 表面化学分析.俄歇电子光谱法.选定的仪器性能参数的描述
KS D ISO 21270:2005 表面化学分析.X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪.强度标的线性
日本工业标准调查会，关于化学分析电子仪的标准
JIS K0166-2011 表面化学分析.高分辨率螺旋电子光谱仪.元素和化学状态分析用能量标度的校准
JIS K0165-2011 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
JIS K0167-2011 表面化学分析.俄歇电子光谱和X射线光电子能谱学.匀质材料定量分析用实验室测定相对敏感因子的使用指南
JIS K0161-2010 表面化学分析.俄歇电子光谱法.选定的仪器性能参数的描述
JIS H1202-1996 电子管用无氧铜制品的化学分析方法
JIS H1421-1996 电子管用镍材料的化学分析通则
澳大利亚标准协会，关于化学分析电子仪的标准
AS ISO 18118:2006 表面化学分析．俄歇电子能谱法和X射线光电子光谱法．均质材料定量分析中实验测定的相对灵敏系数使用指南
AS ISO 17974:2006 表面化学分析．高分辨率俄歇电子分光计法．元素及化学物质状态分析用能量标度校准
AS ISO 19319:2006 表面化学分析．Augur电子能谱法和X射线光电子光谱法．分析员对横向分辨率；分析区域和样品区域的目视检测
行业标准-电子，关于化学分析电子仪的标准
SJ/T 10893-1996 电子玻璃化学分析方法总则
