本专题涉及半导体材料纯度的标准有2条。
国际标准分类中,半导体材料纯度涉及到半导体材料。
在中国标准分类中,半导体材料纯度涉及到半金属与半导体材料综合、元素半导体材料。
德国标准化学会,关于半导体材料纯度的标准
DIN 50451-6-2014 半导体工艺用材料测试. 液体中痕量元素测定. 第6部分: 测定含有氢氟酸的高纯度氟化铵溶液蚀刻混合物和高纯度氟化铵溶液 (NH4F) 中的36种元素
DIN 50451-3-2014 半导体工艺用材料测试. 液体中痕量元素测定. 第3部分: 使用电感耦合等离子体质谱法 (ICP-MS) 测定高纯度硝酸中的31种元素





