本专题涉及紫外 曝光机的标准有8条。
国际标准分类中,紫外 曝光机涉及到电学、磁学、电和磁的测量。
在中国标准分类中,紫外 曝光机涉及到照相机与照相器具、其他生产设备、加工专用设备、其他电子仪器设备。
行业标准-电子,关于紫外 曝光机的标准
SJ 20711-1998 分步投影曝光机通用规范
SJ/T 10312-1992 电子束曝光机通用技术条件
SJ/T 10274-1991 掩模对准曝光机测试方法
SJ/T 31120-1994 KSM-MJB3型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
SJ/T 11079-1996 掩膜对准曝光机通用技术条件
SJ/T 31119-1994 掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
SJ/T 31113-1994 DB-3型电子束曝光机完好要求和检查评定方法
SJ/T 31121-1994 JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法





