本专题涉及化学分析光谱仪的标准有15条。
国际标准分类中，化学分析光谱仪涉及到分析化学。
在中国标准分类中，化学分析光谱仪涉及到基础标准与通用方法、物性分析仪器。
英国标准学会，关于化学分析光谱仪的标准
BS ISO 17973:2016 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
BS ISO 21270:2005 表面化学分析.X射线光电子和俄歇电子光谱仪.强度标的线性度
BS ISO 17973:2003 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
BS ISO 17974:2002 表面化学分析.高分辨率螺旋电子光谱仪.元素和化学状态分析用能量标度的校准
国际标准化组织，关于化学分析光谱仪的标准
ISO 17973:2016 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
ISO 17974:2002 表面化学分析.高分辨率螺旋电子光谱仪.元素和化学状态分析用能量标度的校准
ISO 17973:2002 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
，关于化学分析光谱仪的标准
KS D ISO 17973-2011(2021) 表面化学分析——中分辨率俄歇电子光谱仪——元素分析用能标的校准
KS D ISO 17974-2011(2021) 表面化学分析——高分辨率俄歇电子光谱仪——元素和化学状态分析用能标的校准
韩国科技标准局，关于化学分析光谱仪的标准
KS D ISO 17974:2011 表面化学分析.高分辨率螺旋电子光谱仪.元素和化学状态分析用能量标度的校准
KS D ISO 17973:2011 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
KS D ISO 15472:2003 表面化学分析.X射线光电光谱仪.能量刻度的校正
日本工业标准调查会，关于化学分析光谱仪的标准
JIS K0166-2011 表面化学分析.高分辨率螺旋电子光谱仪.元素和化学状态分析用能量标度的校准
JIS K0165-2011 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
法国标准化协会，关于化学分析光谱仪的标准
NF X21-054-2006 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
