本专题涉及纳米薄膜仪的标准有30条。
国际标准分类中，纳米薄膜仪涉及到长度和角度测量、分析化学、玻璃、机械试验、光学和光学测量、词汇、物理学、化学、橡胶和塑料制品、电子元器件综合、光学设备。
在中国标准分类中，纳米薄膜仪涉及到基础标准与通用方法、工业技术玻璃、物理学与力学、基础标准与通用方法、合成树脂、塑料、电子元件综合、合成树脂、塑料基础标准与通用方法、稀有金属及其合金分析方法。
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于纳米薄膜仪的标准
GB/T 36969-2018 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会，关于纳米薄膜仪的标准
GB/T 33826-2017 玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法
国家质检总局，关于纳米薄膜仪的标准
GB/T 30447-2013 纳米薄膜接触角测量方法
GB/T 25898-2010 仪器化纳米压入试验方法 薄膜的压入硬度和弹性模量
GB/T 22462-2008 钢表面纳米、亚微米尺度薄膜.元素深度分布的定量测定.辉光放电原子发射光谱法
国际标准化组织，关于纳米薄膜仪的标准
ISO 23170-2022 表面化学分析.深度剖面.用中能离子散射法对硅衬底上纳米级重金属氧化物薄膜进行无损深度剖面
IEC/TR 63258:2021 纳米技术.评估纳米薄膜厚度的椭偏仪应用指南
ISO/TS 80004-11-2017 纳米技术 - 词汇 - 第11部分:纳米层 纳米涂层 纳米薄膜和相关术语
IEC/TS 62607-2-1:2012 纳米制造.碳纳米管薄膜应用的关键控制特性.电阻率.第2-1部分:
国际电工委员会，关于纳米薄膜仪的标准
IEC TR 63258:2021 纳米技术.用于评估纳米薄膜厚度的椭偏仪应用指南
IEC TR 63258-2021 纳米技术.用于评估纳米薄膜厚度的椭偏仪应用指南
IEC TS 62607-5-3:2020 纳米制造关键控制特性第5-3部分:薄膜有机/纳米电子器件电荷载流子浓度的测量
IEC TS 62607-5-3-2020 纳米制造关键控制特性第5-3部分:薄膜有机/纳米电子器件电荷载流子浓度的测量
IEC TS 62607-5-1:2014 纳米制造关键控制特性第5-1部分:薄膜有机/纳米电子器件载流子传输测量
IEC TS 62607-5-1-2014 纳米制造关键控制特性第5-1部分:薄膜有机/纳米电子器件载流子传输测量
IEC/TS 62607-5-1-2014 纳米制造.关键控制特性.第5-1部分:薄膜有机/纳米电子设备.载体运输测量
IEC TS 62607-2-1-2012 纳米制造.关键控制特性.第2-1部分:碳纳米管材料.薄膜电阻
IEC TS 62607-2-1:2012 纳米制造.关键控制特性.第2-1部分:碳纳米管材料.薄膜电阻
德国标准化学会，关于纳米薄膜仪的标准
DIN CEN ISO/TS 80004-11-2020 纳米技术. 词汇. 第11部分: 纳米层、纳米涂层、纳米薄膜和相关术语(ISO/TS 80004-11-2017); 德文版 CEN ISO/TS 80004-11-2020
DIN IEC/TS 62607-5-1-2014 纳米加工.关键控制特性.第5-1部分:薄膜有机/纳米电子设备.载体运输测量(IEC 113/183/CD-2013)
，关于纳米薄膜仪的标准
PNST 60-2015 高分子共挤压薄膜改性纳米复合材料通用规格
PNST 60-2015 高分子共挤压薄膜改性纳米复合材料通用规格
GOST R 8.698-2010 确保测量一致性的国家体系.纳米粒子和薄膜的空间参数.利用小角度X-射线散射衍射仪的测量方法
英国标准学会，关于纳米薄膜仪的标准
BS PD IEC/TS 62607-5-1-2014 纳米制造. 关键控制特性. 有机薄膜/纳米电子器件. 载波传输测量
美国通用公司（全球），关于纳米薄膜仪的标准
GMW GMW16170-2011 薄膜.纳米厚度(NT)的预处理一般质量要求.第2次出版(英文版本)
美国通用公司（北美），关于纳米薄膜仪的标准
GM 9986321-2008 薄膜.纳米厚度(NT)预处理通用质量标准
韩国标准，关于纳米薄膜仪的标准
KS D 2715-2006 单晶硅和多晶硅纳米/微薄膜拉伸的试样
KS D 2715-2006 单晶硅和多晶硅纳米/微薄膜拉伸的试样
