本专题涉及硅 电感耦合等离子体质谱 的标准有13条。
国际标准分类中，硅 电感耦合等离子体质谱 涉及到有色金属、半导体材料、金属材料试验、集成电路、微电子学、核能工程。
在中国标准分类中，硅 电感耦合等离子体质谱 涉及到贵金属及其合金分析方法、贵金属及其合金、元素半导体材料、半金属及半导体材料分析方法、电子技术专用材料、稀有金属及其合金分析方法、、半导体分立器件综合、核材料、核燃料及其分析试验方法。
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于硅 电感耦合等离子体质谱 的标准
GB/T 36592-2018 铑粉化学分析方法 铂、钌、铱、钯、金、银、铜、铁、镍、铝、铅、锰、镁、锡、锌、硅的测定 电感耦合等离子体质谱法
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会，关于硅 电感耦合等离子体质谱 的标准
GB/T 33909-2017 纯铂化学分析方法 钯、铑、铱、钌、金、银、铝、铋、铬、铜、铁、镍、铅、镁、锰、锡、锌、硅量的测定 电感耦合等离子体质谱法
国家质检总局，关于硅 电感耦合等离子体质谱 的标准
GB/T 31854-2015 光伏电池用硅材料中金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
GB/T 29849-2013 光伏电池用硅材料表面金属杂质含量的电感耦合等离子体质谱测量方法
GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法.硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
工业和信息化部，关于硅 电感耦合等离子体质谱 的标准
YS/T 568.12-2022 氧化锆、氧化铪化学分析方法 第12部分：氧化锆中硼、钠、镁、铝、硅、钙、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、钼、镉、铪、铅、铋含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
YS/T 1119-2016 海绵钯化学分析方法 镁、铝、硅、铬、锰、铁、镍、铜、锌、钌、铑、银、锡、铱、铂、金、铅、铋的测定 电感耦合等离子体质谱法
中国团体标准，关于硅 电感耦合等离子体质谱 的标准
T/CNIA 0061-2020 硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
行业标准-商品检验，关于硅 电感耦合等离子体质谱 的标准
SN/T 4107-2015 白刚玉、铬刚玉中硅、铁、钾、 钠、铬、钙、镁的测定 电感耦合等离子体质谱法
SN/T 4025-2014 稀土硅铁合金及镁硅铁合金化学分析方法 稀土总量的测定 电感耦合等离子体质谱法
德国标准化学会，关于硅 电感耦合等离子体质谱 的标准
DIN 51456-2013 半导体技术用材料的试验. 使用电感耦合等离子体质谱法 (ICP-MS) 通过水分析解决方案的多元素测定进行硅晶片的表面分析
美国材料与试验协会，关于硅 电感耦合等离子体质谱 的标准
ASTM C1771-13 固相萃取除铀后用电感耦合等离子体质谱法测定水解六氟化铀中硼、硅和锝的标准试验方法
行业标准-有色金属，关于硅 电感耦合等离子体质谱 的标准
YS/T 226.13-2009 硒化学分析方法.第13部分:银、铝、砷、硼、汞、铋、铜、镉、铁、镓、铟、镁、镍、铅、硅、锑、锡、碲、钛、锌量的测定.电感耦合等离子体质谱法
