本专题涉及真空 镀膜 仪的标准有13条。
国际标准分类中，真空 镀膜 仪涉及到电子元器件综合、真空技术。
在中国标准分类中，真空 镀膜 仪涉及到、、真空技术与设备、真空检测仪表与装置、加工专用设备。
中国团体标准，关于真空 镀膜 仪的标准
T/BIE 002-2022 印制板组装件用聚对二甲苯真空气相沉积镀膜防护性能的试验方法
T/GVS 010-2022 真空卷绕镀膜设备通用技术要求
行业标准-机械，关于真空 镀膜 仪的标准
JB/T 6922-2015 真空蒸发镀膜设备
JB/T 8946-2010 真空离子镀膜设备
JB/T 8945-2010 真空溅射镀膜设备
JB/T 6922-2004 真空蒸发镀膜设备
JB/T 8946-1999 真空离子镀膜设备
JB/T 8945-1999 真空溅射镀膜设备
JB/T 6922-1993 真空蒸发镀膜设备
JB/T 5576-1991 真空蒸发装饰镀膜设备.技术条件
JB/T 5575-1991 真空蒸发光学镀膜设备.技术条件
JB/T 5579-1991 真空蒸发制镜镀膜设备.技术条件
行业标准-电子，关于真空 镀膜 仪的标准
SJ/T 31260-1994 A500B2K型高真空薄膜镀膜机完好要求和检查评定方法
