本专题涉及元素分析光谱仪的标准有14条。
国际标准分类中，元素分析光谱仪涉及到分析化学、有色金属。
在中国标准分类中，元素分析光谱仪涉及到基础标准与通用方法、物性分析仪器、重金属及其合金分析方法。
英国标准学会，关于元素分析光谱仪的标准
BS ISO 17973:2016 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
BS ISO 17973:2003 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
BS ISO 17974:2002 表面化学分析.高分辨率螺旋电子光谱仪.元素和化学状态分析用能量标度的校准
国际标准化组织，关于元素分析光谱仪的标准
ISO 17973:2016 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
ISO 17974:2002 表面化学分析.高分辨率螺旋电子光谱仪.元素和化学状态分析用能量标度的校准
ISO 17973:2002 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
韩国标准，关于元素分析光谱仪的标准
KS D ISO 17973:2011 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
KS D ISO 17974:2011 表面化学分析.高分辨率螺旋电子光谱仪.元素和化学状态分析用能量标度的校准
，关于元素分析光谱仪的标准
KS D ISO 17974-2011(2021) 表面化学分析——高分辨率俄歇电子光谱仪——元素和化学状态分析用能标的校准
KS D ISO 17973-2011(2021) 表面化学分析——中分辨率俄歇电子光谱仪——元素分析用能标的校准
日本工业标准调查会，关于元素分析光谱仪的标准
JIS K0165-2011 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
JIS K0166-2011 表面化学分析.高分辨率螺旋电子光谱仪.元素和化学状态分析用能量标度的校准
法国标准化协会，关于元素分析光谱仪的标准
NF X21-054-2006 表面化学分析.中分辨率螺旋电子光谱仪.元素分析用能量标度的校准
NF A06-902-2000 锡基合金的分析方法.用原子光谱仪法测定合金元素和杂质元素含量
