本专题涉及电子显微镜尺寸的标准有9条。
国际标准分类中，电子显微镜尺寸涉及到空气质量、光学设备、电子显示器件。
在中国标准分类中，电子显微镜尺寸涉及到放大镜与显微镜、公共医疗设备。
美国材料与试验协会，关于电子显微镜尺寸的标准
ASTM E2090-12(2020) 使用光学和扫描电子显微镜从洁净室刮水器释放的颗粒和纤维的尺寸分化计数的标准测试方法
ASTM E986-04(2017) 扫描电子显微镜光束尺寸表征的标准实践
ASTM E2090-12 利用光电子显微镜和扫描电子显微镜对清洁室擦刷工具释放粒子和纤维的尺寸差异计数的标准试验方法
ASTM E2090-06 使用光学和扫描电子显微镜从洁净室刮水器释放的颗粒和纤维的尺寸分化计数的标准测试方法
ASTM E986-04 扫描电子显微镜射束尺寸特征描述标准实施规程
ASTM E986-04(2010) 扫描电子显微镜射束尺寸特征描述标准实施规程
ASTM E2090-00 利用光电子显微镜和扫描电子显微镜对清洁室擦刷工具释放粒子和纤维的尺寸差异计数的标准试验方法
ASTM E986-97 扫描电子显微镜光束尺寸表征的标准实践
国际标准化组织，关于电子显微镜尺寸的标准
ISO 21466:2019 微束分析.扫描电子显微镜.用CD-SEM评定临界尺寸的方法
