本专题涉及气相 色谱 半导体的标准有2条。
国际标准分类中,气相 色谱 半导体涉及到化工产品。
在中国标准分类中,气相 色谱 半导体涉及到工业气体与化学气体。
德国标准化学会,关于气相 色谱 半导体的标准
DIN 50450-9-2003 半导体工艺材料测试.载气和掺杂气体杂质测定.第9部分:用气相色谱法测定气态氯化氢中氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、氢和C<下标1>-C<下标3>-烃类含量
DIN 50450-4-1993 半导体工艺材料的检验.运载气体和掺杂剂气体中杂质的测定.用气相色谱法测定氮气中C1-C3烃类化合物





