本专题涉及表面能谱仪的标准有15条。
国际标准分类中，表面能谱仪涉及到分析化学、长度和角度测量。
在中国标准分类中，表面能谱仪涉及到基础标准与通用方法、质谱仪、液谱仪、能谱仪及其联用装置。
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于表面能谱仪的标准
GB/T 29732-2021 表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会，关于表面能谱仪的标准
GB/T 22571-2017 表面化学分析 X射线光电子能谱仪 能量标尺的校准
国家质检总局，关于表面能谱仪的标准
GB/T 29731-2013 表面化学分析 高分辨俄歇电子能谱仪 元素和化学态分析用能量标校准
GB/T 22571-2008 表面化学分析.X射线光电子能谱仪.能量标尺的校准
GB/T 21006-2007 表面化学分析 X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪 强度标的线性
德国标准化学会，关于表面能谱仪的标准
DIN ISO 16129:2020 表面化学分析. X射线光电子能谱-评估X射线光电子能谱仪的日常性能的程序(ISO 16129-2018); 英文文本
国际标准化组织，关于表面能谱仪的标准
ISO 16129:2018 表面化学分析 - X射线光电子能谱 - 评估X射线光电子能谱仪日常性能的方法
ISO 16129:2012 表面化学分析.X射线光电子能光谱学.X射线光电子能谱仪日常性能评估规程
ISO 21270:2004 表面化学分析 X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪.强度标的线性
英国标准学会，关于表面能谱仪的标准
BS ISO 16129:2012 表面化学分析.X射线光电子能光谱学.X射线光电子能谱仪日常性能评估规程
，关于表面能谱仪的标准
KS D ISO 17973-2011(2016) 表面化学分析中分辨率俄歇电子能谱仪元素分析用能标的校准
KS D ISO 17974-2011(2016) 表面化学分析高分辨率俄歇电子能谱仪元素和化学状态分析用能标的校准
KS D ISO 21270-2005(2020) 表面化学分析X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪强度标度的线性
KS D ISO 15470-2005(2020) 表面化学分析X射线光电子能谱仪部分性能参数说明
韩国科技标准局，关于表面能谱仪的标准
KS D ISO 21270:2005 表面化学分析.X射线光电子能谱仪和俄歇电子能谱仪.强度标的线性
