本专题涉及硅 外延的标准有141条。
国际标准分类中，硅 外延涉及到金属材料试验、半导体材料、绝缘流体、术语学(原则和协调配合)、电子元器件综合、半导体分立器件。
在中国标准分类中，硅 外延涉及到金属物理性能试验方法、元素半导体材料、金属化学性能试验方法、化合物半导体材料、半金属与半导体材料综合、半金属及半导体材料分析方法、电子技术专用材料、金相检验方法、半导体分立器件综合、半导体二极管、金属无损检验方法、、、半金属、电子元件综合、半导体三极管、加工专用设备。
国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会，关于硅 外延的标准
GB/T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法
GB/T 14139-2019 硅外延片
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会，关于硅 外延的标准
GB/T 35310-2017 200mm硅外延片
GB/T 14142-2017 硅外延层晶体完整性检验方法 腐蚀法
国家质检总局，关于硅 外延的标准
GB/T 30652-2014 硅外延用三氯氢硅
GB/T 14863-2013 用栅控和非栅控二极管的电压电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的方法
GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法.硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
GB/T 14847-2010 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
GB/T 14139-2009 硅外延片
GB/T 14146-2009 硅外延层载流子浓度测定.汞探针电容-电压法
GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法
GB/T 14141-2009 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定.直排四探针法
GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法
GB/T 14847-1993 重掺杂衬底上轻掺杂硅外延层厚度的红外反射测量方法
GB/T 14863-1993 用栅控和非栅控二极管的电压-电容关系测定硅外延层中净载流子浓度的标准方法
GB/T 14141-1993 硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的测定
GB/T 14146-1993 硅外延层载流子浓度测定和探针电容--电压法
GB/T 14145-1993 硅外延层堆垛层错密度测定干涉相衬显微镜法
GB/T 14139-1993 硅外延片
GB/T 14142-1993 硅外延层晶体完整性检查方法
GB/T 14015-1992 硅-兰宝石外延片
中国团体标准，关于硅 外延的标准
T/ICMTIA SM006-2021 集成电路线宽65nm-14nm逻辑工艺用300mm P/P-型硅外延片
T/CNIA 0061-2020 硅外延用四氯化硅中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
行业标准-有色金属，关于硅 外延的标准
YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
YS/T 14-2015 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
YS/T 15-2015 硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
YS/T 23-1992 硅外延层厚度测定.堆垛层错尺寸法
YS/T 15-1991 硅外延层和扩散厚度测定.磨角染色法
YS/T 14-1991 异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法
工业和信息化部，关于硅 外延的标准
YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
YS/T 1059-2015 硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
美国材料与试验协会，关于硅 外延的标准
ASTM F374-00a 用具有单一配置程序的直列四点探针对硅外延层、扩散层、多晶硅层和离子注入层的片电阻的标准试验方法
ASTM F374-2000a 用单型程序直列式四点探针法测定硅外延层、扩散层、多晶硅层和离子注入层的薄膜电阻的测试方法
ASTM F1617-98 用二次离子质谱法测量硅和外延衬底上表面钠铝钾铁的标准试验方法
德国标准化学会，关于硅 外延的标准
DIN 50446-1995 半导体工艺材料的检验.硅晶体外延层缺陷种类和缺陷密度的测定
DIN 50437-1979 半导体无机材料的试验.用红外线干涉法测量硅外延生长层的的厚度
行业标准-电子，关于硅 外延的标准
SJ 20514-1995 微波功率晶体管用硅外延片规范
SJ/T 10481-1994 硅外延层电阻率的面接触三探针.测试方法
SJ 2381-1983 3CD557型、3CD558型、3CD657型PNP硅外延平面低频大功率三极管
SJ 2382-1983 3CD559型、3CD560型PNP硅外延平面低频大功率三极管
SJ 2376-1983 3CD647型PNP硅外延平面低频大功率三极管
SJ 2380-1983 3CD555型、3CD556型、3CD655型PNP硅外延平面低频大功率三极管
SJ 2379-1983 3CD553型、3CD554型、3CD653型PNP硅外延平面低频大功率三极管
SJ 2377-1983 3CD549型、3CD550型、3CD649型PNP硅外延平面低频大功率三极管
SJ 2378-1983 3CD551型、3CD552型、3CD651型PNP硅外延平面低频大功率三极管
SJ 2287-1983 3DG148型NPN硅外延平面超高频低噪声小功率三极管
SJ 2274-1983 3DG113型NPN硅外延平面超高频小功率三极管
SJ 2275-1983 3DG85型NPN硅外延平面超高频小功率三极管
SJ 2291-1983 3DG153型NPN硅外延平面超高频低噪声小功率三极管
SJ 2272-1983 3DG44型NPN硅外延平面超高频小功率三极管
SJ 2273-1983 3DG81型NPN硅外延平面超高频小功率三极管
SJ 2276-1983 3DG114型NPN硅外延平面超高频小功率三极管
SJ 2283-1983 3DG144型NPN硅外延平面超高频低噪声小功率三极管
SJ 2292-1983 3DG154型NPN硅外延平面超高频低噪声小功率三极管
SJ 2290-1983 3DG152型NPN硅外延平面超高频低噪声小功率三极管
SJ 2271-1983 3DG104型NPN硅外延平面超高频小功率三极管
SJ 2284-1983 3DG145型NPN硅外延平面超高频低噪声小功率三极管
SJ 2278-1983 3DG72型NPN硅外延平面超高频小功率三极管
SJ 2288-1983 3DG149型NPN硅外延平面超高频低噪声小功率三极管
SJ 2279-1983 3DG123型NPN硅外延平面超高频小功率三极管
SJ 2277-1983 3DG115型NPN硅外延平面超高频小功率三极管
SJ 2281-1983 3DG132型NPN硅外延平面超高频小功率三极管
SJ 2285-1983 3DG146型NPN硅外延平面超高频低噪声小功率三极管
SJ 2282-1983 3DG143型NPN硅外延平面超高频低噪声小功率三极管
SJ 2293-1983 3DG155型NPN硅外延平面超高频低噪声小功率三极管
SJ 2286-1983 3DG147型NPN硅外延平面超高频低噪声小功率三极管
SJ 2289-1983 3DG151型NPN硅外延平面超高频低噪声小功率三极管
SJ 2294-1983 3DG156型NPN硅外延平面超高频低噪声小功率三极管
SJ 1841-1981 3CK100型PNP硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1844-1981 3CK112型PNP硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1830-1981 3DK101型NPN硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1832-1981 3DK102型NPN硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1831-1981 3DK28型NPN硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1828-1981 3DK53型NPN硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1843-1981 3CK111型PNP硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1846-1981 3CK120型PNP硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1829-1981 3DK5型NPN硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1825-1981 3DK21型NPN硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1826-1981 3DK100型NPN硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1842-1981 3CK110型PNP硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1827-1981 3DK6型NPN硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1847-1981 3CK121型PNP硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1845-1981 3CK113型PNP硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1848-1981 3CK130型PNP硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1840-1981 3DK14型NPN硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1839-1981 3DK108型NPN硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1838-1981 3DK29型NPN硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1833-1981 3DK103型NPN硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1834-1981 3DK104型NPN硅外延平面小功率开关三极管
SJ 1476-1979 3CG114型PNP硅外延平面高频小功率三极管
SJ 1481-1979 3CG131型PNP硅外延平面高频小功率三极管
SJ 1468-1979 3CG100型PNP硅外延平面高频小功率三极管
SJ 1550-1979 硅外延片检测方法
SJ 1485-1979 3CG170型PNP硅外延平面高频小功率高反压三极管
SJ 1482-1979 3CG132型PNP硅外延平面高频小功率三极管
SJ 1549-1979 硅外延片(暂行)
SJ 1471-1979 3CG103型PNP硅外延平面高频小功率三极管
SJ 1478-1979 3CG121型PNP硅外延平面高频小功率三极管
SJ 1479-1979 3CG122型PNP硅外延平面高频小功率三极管
SJ 1474-1979 3CG112型PNP硅外延平面高频小功率三极管
SJ 1484-1979 3CG160型PNP硅外延平面高频小功率高反压三极管
SJ 1483-1979 3CG140型PNP硅外延平面高频小功率低噪声三极管
SJ 1475-1979 3CG113型PNP硅外延平面高频小功率三极管
SJ 1473-1979 3CG111型PNP硅外延平面高频小功率三极管
SJ 1470-1979 3CG102型PNP硅外延平面高频小功率三极管
SJ 1551-1979 硅外延层电阻率测试方法（电容-电压法）(暂行)
SJ 1480-1979 3CG130型PNP硅外延平面高频小功率三极管
SJ 1472-1979 3CG110型PNP硅外延平面高频小功率三极管
SJ 1477-1979 3CG120型PNP硅外延平面高频小功率三极管
SJ 1486-1979 3CG180型PNP硅外延平面高频小功率高反压三极管
SJ 800-1974 3DG180型NPN硅外延平面高频小功率高反压三极管
SJ 799-1974 3DG170型NPN硅外延平面高频小功率高反压三极管
SJ 775-1974 3DD65型和3DD66型NPN硅外延平面低频大功率三极管
SJ 790-1974 3DG121型NPN硅外延平面高频小功率三极管
SJ 771-1974 3DD59和3DD60型NPN硅外延平面低频大功率三极管
SJ 788-1974 3DG112型NPN硅外延平面高频小功率三极管
SJ 801-1974 3DG181型NPN硅外延平面高频小功率高反压三极管
SJ 777-1974 3DD68型和3DD69型NPN硅外延平面低频大功率三极管
SJ 767-1974 3DD53型和3DD54型NPN型硅外延平面低频大功率三极管
SJ 795-1974 3DG142型NPN硅外延平面高频小功率低噪声三极管
SJ 794-1974 3DG141型NPN硅外延平面高频小功率低噪声三极管
SJ 769-1974 3DD56和3DD57型NPN硅外延平面低频大功率三极管
SJ 785-1974 3DG103型NPN硅外延平面高频小功率三极管
SJ 783-1974 3DG101型NPN硅外延平面高频小功率三极管
SJ 765-1974 3DD50和3DD51型NPN硅外延平面低频大功率三极管
SJ 789-1974 3DG120型NPN硅外延平面高频小功率三极管
SJ 791-1974 3DG122型NPN硅外延平面高频小功率三极管
SJ 787-1974 3DG111型NPN硅外延平面高频小功率三极管
SJ 784-1974 3DG102型NPN硅外延平面高频小功率三极管
SJ 779-1974 3DD71型NPN硅外延平面低频大功率三极管
SJ 773-1974 3DD62和3DD63型NPN硅外延平面低频大功率三极管
SJ 781-1974 3DD73型NPN硅外延平面低频大功率三极管
SJ/T 31110-1994 AMV-1284型硅外延炉完好要求和检查评定方法
SJ/Z 1610-1980 硅外延片缺陷图集
英国标准学会，关于硅 外延的标准
BS 9364 N017-1979 小功率硅n-p-n型开关晶体管详细规范.65V、平面外延、额定环境条件、密封封装(长引线型).全面附加评定级
BS 9364 N016-1979 小功率硅P-N-P型开关晶体管详细规范.65V、平面外延、额定环境条件、密封封装.全面附加评定级
BS 9364 N013-1979 小功率硅P-N-P型开关晶体管详细规范.25V、平面外延、额定环境条件、密封封装、全面附加评定级
BS 9364 N011-1978 小功率硅P-N-P型开关晶体管详细规范.65V、平面外延、额定环境条件、密封封装、全面附加评定级
BS 9364 N007 and N009-1978 小功率硅N-P-N型开关晶体管详细规范.20V、平面外延、额定环境条件、密封封装.全面附加评定级
BS 9364 N012-1978 小功率硅P-N-P型开关晶体管详细规范.65V、平面外延、额定环境条件、密封封装(长引线型).全面和附加评估级
BS 9364 N008 and N010-1978 小功率硅N-P-N型开关晶体管详细规范.20V、平面外延、额定环境条件、密封封装(长引线型).全面附加评定级
