本专题涉及薄膜疲劳的标准有18条。
国际标准分类中，薄膜疲劳涉及到半导体分立器件、电子电信设备用机电元件、建筑物的防护。
在中国标准分类中，薄膜疲劳涉及到其他、半导体分立器件综合、微电路综合、微型电机、电子设备机械结构件、屋面、铺面防水与防潮材料。
国际电工委员会，关于薄膜疲劳的标准
IEC 62951-4-2019 半导体器件.柔性和可伸展半导体器件.第4部分:柔性半导体器件衬底上柔性导电薄膜的疲劳评价
IEC 62951-4:2019 半导体器件.柔性和可伸展半导体器件.第4部分:柔性半导体器件衬底上柔性导电薄膜的疲劳评价
IEC 62047-12:2011 半导体器件 - 微机电器件 - 第12部分:使用谐振器振荡的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法
IEC 62047-12-2011 半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法
IEC 62047-6:2009 半导体器件 - 微机电器件 - 第6部分:薄膜材料的轴向疲劳试验方法
IEC 62047-6-2009 半导体装置.微电机装置.第6部分:薄膜材料的轴向疲劳试验方法
日本工业标准调查会，关于薄膜疲劳的标准
JIS C5630-12-2014 半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法
JIS C5630-12-2014 半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法
JIS C5630-6-2011 半导体器件.微电机装置.第6部分:薄膜材料的轴向疲劳测试方法
JIS C5630-6-2011 半导体器件.微电机装置.第6部分:薄膜材料的轴向疲劳测试方法
法国标准化协会，关于薄膜疲劳的标准
NF C96-050-12-2012 半导体器件 - 微型机电装置 - 第12部分: 使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法.
NF C96-050-6-2010 半导体装置.微电机装置.第6部分:薄膜材料的轴向疲劳试验方法.
德国标准化学会，关于薄膜疲劳的标准
DIN EN 62047-12-2012 半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法(IEC 62047-12-2011).德文版本EN 62047-12-2011
DIN EN 62047-6-2010 半导体器件. 微电机设备. 第6部分: 薄膜材料的轴向疲劳试验方法（IEC 62047-6: 2009）; 德文版本EN 62047-6: 2010
欧洲电工标准化委员会，关于薄膜疲劳的标准
EN 62047-12-2011 半导体器件.微型电机装置.第12部分:用微型电机系统(MEMS)结构谐振进行薄膜材料的弯曲疲劳试验方法
英国标准学会，关于薄膜疲劳的标准
BS EN 62047-6-2010 半导体装置.微机电装置.薄膜材料的轴向疲劳试验方法
美国材料与试验协会，关于薄膜疲劳的标准
ASTM D5849/D5849M-2007(2013)e1 评估改良沥青屋顶薄膜耐周期性疲劳(接点位移)的标准试验方法
ASTM D5849-2007 评估改良沥青屋顶薄膜耐周期性疲劳(接点位移)的标准试验方法
